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一种半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置及硅单晶炉
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011470690.9
申请日：
2020-12-15
公开(公告)号：
CN112575370B
公开(公告)日：
2021-03-30
发明(设计)人：
姜宏伟
郭志强
郑锴
申请人：
申请人地址：
210046 江苏省南京市经济技术开发区兴智路6号兴智科技园
IPC主分类号：
C30B1500
IPC分类号：
C30B2906
代理机构：
南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204
代理人：
张弛
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-30 | 公开 | 公开 |
| 2022-07-08 | 授权 | 授权 |
| 2021-04-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 15/00 申请日:20201215 |