半导体级硅单晶炉籽晶夹头装置及其应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710245957.6

申请日：

2017-04-14

公开(公告)号：

CN107059113A

公开(公告)日：

2017-08-18

发明(设计)人：

潘清跃王维川汤锦睿

申请人：

申请人地址：

210046 江苏省南京市经济技术开发区兴科路12号科创基地108室

IPC主分类号：

C30B1532

IPC分类号：

C30B2906

代理机构：

江苏圣典律师事务所 32237

代理人：

杨文晰;孙忠浩

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-18	公开	公开
2017-09-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101747174010 IPC(主分类):C30B 15/32 专利申请号:2017102459576 申请日:20170414

共 50 条

[1]

半导体级硅单晶炉籽晶夹头装置 [P].

潘清跃 ;

王维川 ;

汤锦睿 .

中国专利 :CN206799792U ,2017-12-26

[2]

半导体单晶炉籽晶夹头 [P].

赖章田 ;

贺贤汉 ;

夏孝平 ;

黄保强 ;

胡安军 .

中国专利 :CN208562592U ,2019-03-01

[3]

一种半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置及硅单晶炉 [P].

姜宏伟 ;

郭志强 ;

郑锴 .

中国专利 :CN112575370B ,2021-03-30

[4]

用于半导体级硅单晶炉电极的水冷芯管及其应用 [P].

吴春生 ;

潘清跃 ;

王程平 .

中国专利 :CN106906512A ,2017-06-30

[5]

半导体级硅单晶炉底部加热器 [P].

潘清跃 ;

姜宏伟 .

中国专利 :CN107059112A ,2017-08-18

[6]

半导体级硅单晶炉底部加热器 [P].

潘清跃 ;

姜宏伟 .

中国专利 :CN206635456U ,2017-11-14

[7]

半导体级硅单晶炉主加热器 [P].

潘清跃 ;

吴春生 .

中国专利 :CN107059111A ,2017-08-18

[8]

半导体级硅单晶炉主加热器 [P].

潘清跃 ;

吴春生 .

中国专利 :CN206799791U ,2017-12-26

[9]

用于半导体级硅单晶炉的石墨坩埚座 [P].

潘清跃 ;

姜宏伟 .

中国专利 :CN206635455U ,2017-11-14

[10]

用于半导体级硅单晶炉的石墨净化筒 [P].

潘清跃 ;

姜宏伟 .

中国专利 :CN206635461U ,2017-11-14

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