晶圆支撑装置及晶圆支撑装置的使用方法

被引：0

申请号：

CN202111614054.3

申请日：

2021-12-27

公开(公告)号：

CN114300408A

公开(公告)日：

2022-04-08

发明(设计)人：

谈太德董文惠张亚梅姜崴

申请人：

申请人地址：

110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

B08B502

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

黄海霞

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-08	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆支撑装置及晶圆支撑装置的使用方法 [P].

谈太德 ;

董文惠 ;

张亚梅 ;

姜崴 .

中国专利 :CN114300408B ,2025-10-03

[2]

晶圆支撑装置 [P].

赵德文 ;

刘远航 ;

王江涛 ;

李长坤 .

中国专利 :CN211507602U ,2020-09-15

[3]

晶圆支撑装置 [P].

王国栋 ;

许振杰 ;

王同庆 ;

李昆 ;

路新春 .

中国专利 :CN206672910U ,2017-11-24

[4]

晶圆支撑装置 [P].

石帅 ;

吴刘兴 ;

程群 .

中国专利 :CN118471896A ,2024-08-09

[5]

晶圆支撑装置 [P].

韩阳 ;

贾社娜 ;

陶晓峰 ;

何西登 ;

王晖 .

中国专利 :CN114649253A ,2022-06-21

[6]

晶圆支撑装置 [P].

陈明 ;

许亮亮 ;

谢光训 ;

胡万春 ;

张留杰 .

中国专利 :CN217485423U ,2022-09-23

[7]

晶圆支撑装置 [P].

吴均 ;

焦欣欣 ;

金一诺 ;

王坚 ;

王晖 .

中国专利 :CN105529296A ,2016-04-27

[8]

晶圆支撑装置 [P].

倪进华 ;

米涛 ;

许鸿亮 .

中国专利 :CN223665443U ,2025-12-12

[9]

晶圆支撑装置 [P].

邱义君 ;

黄俊凯 ;

吕至诚 ;

陈春忠 ;

傅承祖 ;

蔡升富 .

中国专利 :CN109461691A ,2019-03-12

[10]

晶圆支撑装置 [P].

森川裕次 .

中国专利 :CN111433903A ,2020-07-17

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