MEMS芯片封装结构及其制作方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201510777087.8
申请日
2015-11-13
公开(公告)号
CN105236346B
公开(公告)日
2016-01-13
发明(设计)人
万里兮 马力 付俊 豆菲菲 翟玲玲
申请人
申请人地址
215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路112号
IPC主分类号
B81B702
IPC分类号
B81C300
代理机构
昆山四方专利事务所 32212
代理人
盛建德;段新颖
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
MEMS芯片封装结构 [P]. 
万里兮 ;
马力 ;
付俊 ;
豆菲菲 ;
翟玲玲 .
中国专利 :CN205187843U ,2016-04-27
[2]
芯片封装结构及其制作方法 [P]. 
陈栋 ;
徐虹 ;
徐霞 ;
金豆 ;
陈锦辉 .
中国专利 :CN115692330A ,2023-02-03
[3]
集成芯片封装结构的多芯片封装结构及其制作方法 [P]. 
付伟 .
中国专利 :CN108711570A ,2018-10-26
[4]
集成芯片封装结构的多芯片封装结构及其制作方法 [P]. 
付伟 .
中国专利 :CN108711570B ,2024-03-29
[5]
MEMS器件的真空封装结构及其制作方法 [P]. 
焦继伟 ;
王敏昌 ;
颜培力 ;
宓斌玮 ;
刘文俊 .
中国专利 :CN102556956B ,2012-07-11
[6]
表面传感芯片封装结构及制作方法 [P]. 
万里兮 ;
黄小花 ;
王晔晔 ;
沈建树 ;
翟玲玲 ;
钱静娴 ;
金凯 .
中国专利 :CN104495741A ,2015-04-08
[7]
转移芯片贴装应力的封装结构及其制作方法 [P]. 
万里兮 ;
袁礼明 ;
豆菲菲 ;
翟玲玲 .
中国专利 :CN105347291A ,2016-02-24
[8]
外设式多芯片封装结构及其制作方法 [P]. 
付伟 .
中国专利 :CN109065531B ,2024-08-02
[9]
外设式多芯片封装结构及其制作方法 [P]. 
付伟 .
中国专利 :CN109065531A ,2018-12-21
[10]
大板扇出型芯片封装结构及其制作方法 [P]. 
崔成强 ;
雷珍南 ;
杨斌 ;
李潮 ;
匡自亮 .
中国专利 :CN110648924A ,2020-01-03