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半导体外延设备
被引：0
专利类型：
外观设计
申请号：
CN201030247805.9
申请日：
2010-07-23
公开(公告)号：
CN301484009S
公开(公告)日：
2011-03-16
发明(设计)人：
王占柱
常依斌
李刚
申请人：
申请人地址：
201616 上海市松江区文俊路2号
IPC主分类号：
1599
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-03-16 | 授权 | 授权 |
| 2013-09-11 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101517334206 主分类号:15-99 专利号:ZL2010302478059 申请日:20100723 授权公告日:20110316 终止日期:20120723 |