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半导体外延设备(MOCVD设备)
被引:0
专利类型
:
外观设计
申请号
:
CN202430412801.3
申请日
:
2024-07-03
公开(公告)号
:
CN309335870S
公开(公告)日
:
2025-06-13
发明(设计)人
:
王涛
申请人
:
一塔半导体(安徽)有限公司
申请人地址
:
230601 安徽省合肥市经济技术开发区云二路176号珠江路科技园B栋一层南侧103室
IPC主分类号
:
15-99
IPC分类号
:
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-06-13
授权
授权
共 50 条
[1]
半导体外延设备
[P].
王占柱
论文数:
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王占柱
;
常依斌
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常依斌
;
李刚
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李刚
.
中国专利
:CN301484009S
,2011-03-16
[2]
外延设备(MOCVD设备)
[P].
甘志银
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甘志银
;
胡少林
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胡少林
;
陈倩翌
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陈倩翌
;
严晗
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严晗
;
王亮
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王亮
.
中国专利
:CN301734655S
,2011-11-23
[3]
半导体外延设备
[P].
刘俊
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机构:
芯恩(青岛)集成电路有限公司
芯恩(青岛)集成电路有限公司
刘俊
;
邢超
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机构:
芯恩(青岛)集成电路有限公司
芯恩(青岛)集成电路有限公司
邢超
;
李兵
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机构:
芯恩(青岛)集成电路有限公司
芯恩(青岛)集成电路有限公司
李兵
;
王伟
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机构:
芯恩(青岛)集成电路有限公司
芯恩(青岛)集成电路有限公司
王伟
.
中国专利
:CN222214127U
,2024-12-20
[4]
半导体外延基座和半导体外延设备
[P].
李伟
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机构:
深圳市新凯来工业机器有限公司
深圳市新凯来工业机器有限公司
李伟
;
王剑伟
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机构:
深圳市新凯来工业机器有限公司
深圳市新凯来工业机器有限公司
王剑伟
;
周华
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机构:
深圳市新凯来工业机器有限公司
深圳市新凯来工业机器有限公司
周华
.
中国专利
:CN120099633A
,2025-06-06
[5]
半导体外延设备的尾气收集机构及半导体外延设备
[P].
傅林坚
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机构:
浙江求是半导体设备有限公司
浙江求是半导体设备有限公司
傅林坚
;
刘毅
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机构:
浙江求是半导体设备有限公司
浙江求是半导体设备有限公司
刘毅
;
曹建伟
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机构:
浙江求是半导体设备有限公司
浙江求是半导体设备有限公司
曹建伟
;
朱亮
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机构:
浙江求是半导体设备有限公司
浙江求是半导体设备有限公司
朱亮
;
梁旭
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机构:
浙江求是半导体设备有限公司
浙江求是半导体设备有限公司
梁旭
;
冯欣凯
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机构:
浙江求是半导体设备有限公司
浙江求是半导体设备有限公司
冯欣凯
.
中国专利
:CN222024561U
,2024-11-19
[6]
半导体外延设备中的反应腔室及半导体外延设备
[P].
邹传巍
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邹传巍
.
中国专利
:CN111501098B
,2020-08-07
[7]
半导体外延生长设备
[P].
曾强
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机构:
研微(江苏)半导体科技有限公司
研微(江苏)半导体科技有限公司
曾强
;
查恒
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机构:
研微(江苏)半导体科技有限公司
研微(江苏)半导体科技有限公司
查恒
;
卞达开
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机构:
研微(江苏)半导体科技有限公司
研微(江苏)半导体科技有限公司
卞达开
;
罗际蔚
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机构:
研微(江苏)半导体科技有限公司
研微(江苏)半导体科技有限公司
罗际蔚
.
中国专利
:CN117802577A
,2024-04-02
[8]
半导体外延生长设备
[P].
曾强
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机构:
研微(江苏)半导体科技有限公司
研微(江苏)半导体科技有限公司
曾强
;
查恒
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机构:
研微(江苏)半导体科技有限公司
研微(江苏)半导体科技有限公司
查恒
;
卞达开
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机构:
研微(江苏)半导体科技有限公司
研微(江苏)半导体科技有限公司
卞达开
;
罗际蔚
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机构:
研微(江苏)半导体科技有限公司
研微(江苏)半导体科技有限公司
罗际蔚
.
中国专利
:CN117802577B
,2024-08-06
[9]
腔盖和半导体外延设备
[P].
王涛
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机构:
一塔半导体(安徽)有限公司
一塔半导体(安徽)有限公司
王涛
;
夏杨建
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机构:
一塔半导体(安徽)有限公司
一塔半导体(安徽)有限公司
夏杨建
.
中国专利
:CN119932706A
,2025-05-06
[10]
一种MOCVD半导体外延设备的喷淋匀气结构
[P].
李健
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机构:
佛山市中山大学研究院
佛山市中山大学研究院
李健
;
裴艳丽
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机构:
佛山市中山大学研究院
佛山市中山大学研究院
裴艳丽
;
王钢
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机构:
佛山市中山大学研究院
佛山市中山大学研究院
王钢
.
中国专利
:CN117821928A
,2024-04-05
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