一种半导体设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201921572824.0
申请日
2019-09-20
公开(公告)号
CN211445885U
公开(公告)日
2020-09-08
发明(设计)人
林信南 游宗龙 刘美华 李方华 児玉晃 板垣克則
申请人
申请人地址
518000 广东省深圳市坪山区坪山街道六和社区招商花园城17栋S1704
IPC主分类号
C23C1435
IPC分类号
C23C1454
代理机构
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人
王华英
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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王坤 .
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[3]
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游宗龙 ;
刘美华 ;
李方华 ;
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