具有晶片映射功能的晶片处理设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200310120955.2

申请日：

2003-11-14

公开(公告)号：

CN1501467A

公开(公告)日：

2004-06-02

发明(设计)人：

江本淳加贺谷武山崎一夫

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

H01L2166 H01L2100

代理机构：

北京市中咨律师事务所

代理人：

马江立;吴鹏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-03-29	授权	授权
2004-06-02	公开	公开
2004-08-11	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

具有晶片对准装置的晶片处理设备 [P].

泷泽正浩 ;

诹访田雅荣 ;

赤川真佐之 .

中国专利 :CN101552219A ,2009-10-07

[2]

能够映射晶片的晶片加工设备 [P].

五十岚宏 ;

冈部勉 ;

宫嶋俊彦 .

中国专利 :CN1505097A ,2004-06-16

[3]

晶片映射装置 [P].

五十岚宏 ;

冈部勉 ;

宫嶋俊彦 .

中国专利 :CN1505128A ,2004-06-16

[4]

晶片处理设备及晶片处理方法 [P].

陈伏宏 ;

刘世振 ;

刘家桦 .

中国专利 :CN108133906A ,2018-06-08

[5]

晶片处理设备 [P].

梅冈良幸 .

:CN117790382A ,2024-03-29

[6]

晶片处理设备 [P].

郭世根 ;

李亭亭 ;

项金娟 ;

蒋浩杰 ;

田光辉 ;

熊文娟 .

中国专利 :CN114657643A ,2022-06-24

[7]

晶片处理设备以及用于晶片处理设备的密封环 [P].

迪特尔·艾伯特 ;

迈克尔·布劳恩 .

中国专利 :CN106057705B ,2016-10-26

[8]

具有辅助接地路径的晶片处理设备 [P].

S·赫 ;

D·申 ;

严基喆 .

:CN119480600A ,2025-02-18

[9]

托盘及具有其的晶片处理设备 [P].

张宝辉 .

中国专利 :CN102412176A ,2012-04-11

[10]

托盘及具有它的晶片处理设备 [P].

张宝辉 .

中国专利 :CN102468205A ,2012-05-23

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