共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
晶片处理设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311196889.0
申请日：
2023-09-15
公开(公告)号：
CN117790382A
公开(公告)日：
2024-03-29
发明(设计)人：
梅冈良幸
申请人：
ASMIP私人控股有限公司
申请人地址：
荷兰阿尔梅勒
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
代理机构：
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人：
焦玉恒
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-29 | 公开 | 公开 |
| 2025-10-03 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20230915 |