具有辅助接地路径的晶片处理设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411001408.0

申请日：

2024-07-25

公开(公告)号：

CN119480600A

公开(公告)日：

2025-02-18

发明(设计)人：

S·赫 D·申严基喆

申请人：

ASMIP私人控股有限公司

申请人地址：

荷兰阿尔梅勒

IPC主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

王冉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-18	公开	公开

共 50 条

[1]

具有晶片映射功能的晶片处理设备 [P].

江本淳 ;

加贺谷武 ;

山崎一夫 .

中国专利 :CN1501467A ,2004-06-02

[2]

具有晶片对准装置的晶片处理设备 [P].

泷泽正浩 ;

诹访田雅荣 ;

赤川真佐之 .

中国专利 :CN101552219A ,2009-10-07

[3]

具有膜均匀性改善能力的晶片处理设备 [P].

Y·郑 ;

辻直人 ;

B·P·朴 ;

全然孮 .

:CN118571783A ,2024-08-30

[4]

托盘及具有其的晶片处理设备 [P].

张宝辉 .

中国专利 :CN102412176A ,2012-04-11

[5]

托盘及具有它的晶片处理设备 [P].

张宝辉 .

中国专利 :CN102468205A ,2012-05-23

[6]

晶片处理设备以及用于晶片处理设备的密封环 [P].

迪特尔·艾伯特 ;

迈克尔·布劳恩 .

中国专利 :CN106057705B ,2016-10-26

[7]

晶片处理设备及晶片处理方法 [P].

陈伏宏 ;

刘世振 ;

刘家桦 .

中国专利 :CN108133906A ,2018-06-08

[8]

晶片处理设备 [P].

梅冈良幸 .

:CN117790382A ,2024-03-29

[9]

晶片处理设备 [P].

郭世根 ;

李亭亭 ;

项金娟 ;

蒋浩杰 ;

田光辉 ;

熊文娟 .

中国专利 :CN114657643A ,2022-06-24

[10]

具有带倾斜处理路径的处理设备的处理组件 [P].

小R·L·皮斯尼诺 ;

A·伊尔勒 ;

L·R·维尔斯 .

中国专利 :CN1214465A ,1999-04-21

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