SONOS器件制作工艺方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810984641.3

申请日：

2018-08-28

公开(公告)号：

CN109166856B

公开(公告)日：

2019-01-08

发明(设计)人：

许昭昭

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

H01L271157

IPC分类号：

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

戴广志

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-11	授权	授权
2019-01-08	公开	公开
2019-02-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 27/1157 申请日:20180828

共 50 条

[1]

1.5-T SONOS器件制作工艺方法 [P].

许昭昭 .

中国专利 :CN109119422A ,2019-01-01

[2]

SONOS存储器的制作工艺方法 [P].

钱文生 .

中国专利 :CN104992943B ,2015-10-21

[3]

电荷囚禁器件的制作工艺方法 [P].

孙亚亚 .

中国专利 :CN101459139A ,2009-06-17

[4]

SONOS器件的工艺方法 [P].

熊伟 ;

张可钢 ;

陈华伦 ;

钱文生 .

中国专利 :CN104332443A ,2015-02-04

[5]

SONOS器件的工艺方法 [P].

胡君 ;

钱文生 ;

石晶 ;

段文婷 .

中国专利 :CN105679712A ,2016-06-15

[6]

SONOS器件 [P].

梅绍宁 ;

陈广龙 ;

陈昊瑜 .

中国专利 :CN102931196B ,2013-02-13

[7]

SONOS器件 [P].

陈广龙 .

中国专利 :CN102130179A ,2011-07-20

[8]

SONOS器件以及SONOS器件制造方法 [P].

丁航晨 ;

张强 ;

黄冠群 .

中国专利 :CN106449766A ,2017-02-22

[9]

Nord闪存器件的制作工艺 [P].

党扬 ;

张剑 ;

王辉 ;

熊伟 ;

陈华伦 .

中国专利 :CN114334989A ,2022-04-12

[10]

Nord闪存器件的制作工艺 [P].

党扬 ;

张剑 ;

王辉 ;

熊伟 ;

陈华伦 .

中国专利 :CN114334989B ,2025-10-03

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