SONOS器件的工艺方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410604580.5

申请日：

2014-10-30

公开(公告)号：

CN104332443A

公开(公告)日：

2015-02-04

发明(设计)人：

熊伟张可钢陈华伦钱文生

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

H01L218247

IPC分类号：

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

丁纪铁

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-02-04	公开	公开
2018-07-13	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/8247 申请公布日:20150204
2015-03-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101600381866 IPC(主分类):H01L 21/8247 专利申请号:2014106045805 申请日:20141030

共 50 条

[1]

SONOS器件的工艺方法 [P].

胡君 ;

钱文生 ;

石晶 ;

段文婷 .

中国专利 :CN105679712A ,2016-06-15

[2]

CMOS工艺中集成SONOS器件和LDMOS器件的方法 [P].

陈广龙 ;

谭颖 .

中国专利 :CN103632942A ,2014-03-12

[3]

SONOS器件的制造方法和SONOS器件 [P].

初靖 ;

蔡彬 ;

黄冠群 .

中国专利 :CN114496798A ,2022-05-13

[4]

SONOS器件以及SONOS器件制造方法 [P].

丁航晨 ;

张强 ;

黄冠群 .

中国专利 :CN106449766A ,2017-02-22

[5]

二比特分栅SONOS器件制造工艺方法 [P].

许昭昭 .

中国专利 :CN109166855A ,2019-01-08

[6]

SONOS器件的栅极结构的制造方法及SONOS器件 [P].

姜兰 .

中国专利 :CN119208145A ,2024-12-27

[7]

SONOS器件的制造方法 [P].

单园园 ;

郭振强 ;

陈瑜 ;

胡君 .

中国专利 :CN109950249A ,2019-06-28

[8]

SONOS器件的制造方法及SONOS器件 [P].

李小康 ;

李士普 ;

钱俊 .

中国专利 :CN118382300A ,2024-07-23

[9]

SONOS器件制作工艺方法 [P].

许昭昭 .

中国专利 :CN109166856B ,2019-01-08

[10]

SONOS工艺方法 [P].

熊伟 ;

张可钢 ;

陈华伦 .

中国专利 :CN106887433A ,2017-06-23

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