超级合金溅射靶

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880042156.2

申请日：

2018-04-19

公开(公告)号：

CN111194359A

公开(公告)日：

2020-05-22

发明(设计)人：

P·波尔西克 J·拉姆

申请人：

申请人地址：

德国滨湖莱希布鲁克

IPC主分类号：

C22C1900

IPC分类号：

C23C1432 C23C1434 C22C104 C22C1905 B22F3105 C22C1907 C22C1903

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

张萍;黄念

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C22C 19/00 申请日:20180419
2020-05-22	公开	公开

共 50 条

[1]

基于银合金的溅射靶 [P].

M·施洛特 ;

C·西蒙斯 ;

阿尔伯特·卡斯特纳 ;

延斯·瓦格纳 ;

乌韦·科涅兹卡 .

中国专利 :CN108463573A ,2018-08-28

[2]

Al基合金溅射靶 [P].

松本克史 ;

岩崎祐纪 ;

高木敏晃 ;

长尾护 ;

莳野秀忠 ;

小林宣裕 ;

奥野博行 ;

钉宫敏洋 ;

后藤裕史 .

中国专利 :CN102041479B ,2011-05-04

[3]

溅射靶和溅射靶的制造方法 [P].

杉本圭次郎 ;

村田周平 .

中国专利 :CN111836914A ,2020-10-27

[4]

镍合金溅射靶 [P].

山越康广 .

中国专利 :CN1735707A ,2006-02-15

[5]

铜合金溅射靶 [P].

森晓 ;

坂本敏夫 ;

大久保清之 .

中国专利 :CN104419904A ,2015-03-18

[6]

Ag合金溅射靶 [P].

野中庄平 ;

小见山昌三 .

中国专利 :CN105378140A ,2016-03-02

[7]

Ag合金溅射靶 [P].

林雄二郎 ;

小见山昌三 .

中国专利 :CN114096326A ,2022-02-25

[8]

铜合金溅射靶 [P].

大月富男 ;

长田健一 .

中国专利 :CN104781447A ,2015-07-15

[9]

Ag合金溅射靶 [P].

林雄二郎 ;

小见山昌三 .

中国专利 :CN114761609A ,2022-07-15

[10]

钌合金溅射靶 [P].

小田国博 .

中国专利 :CN101198717B ,2008-06-11

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