镍合金溅射靶

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200380108508.3

申请日：

2003-10-06

公开(公告)号：

CN1735707A

公开(公告)日：

2006-02-15

发明(设计)人：

山越康广

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C22C1903

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司

代理人：

樊卫民;郭国清

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-02-15	公开	公开
2012-03-14	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101298329057 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2003801085083 公开日:20060215
2006-04-12	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

镍合金溅射靶及镍硅化物膜 [P].

山越康广 .

中国专利 :CN102165094B ,2011-08-24

[2]

镍合金溅射靶、Ni合金薄膜及镍硅化物膜 [P].

山越康广 ;

大桥一允 .

中国专利 :CN102803550B ,2012-11-28

[3]

钌合金溅射靶 [P].

小田国博 .

中国专利 :CN101198717B ,2008-06-11

[4]

一种铂镍合金溅射靶材及其制备方法 [P].

傅剑平 ;

赵健 ;

潘登 .

中国专利 :CN106282639B ,2017-01-04

[5]

一种钼镍合金溅射靶材用混合装置 [P].

薛康营 .

中国专利 :CN217068623U ,2022-07-29

[6]

铜合金溅射靶 [P].

森晓 ;

坂本敏夫 ;

大久保清之 .

中国专利 :CN104419904A ,2015-03-18

[7]

Ag合金溅射靶 [P].

野中庄平 ;

小见山昌三 .

中国专利 :CN105378140A ,2016-03-02

[8]

Ag合金溅射靶 [P].

林雄二郎 ;

小见山昌三 .

中国专利 :CN114096326A ,2022-02-25

[9]

超级合金溅射靶 [P].

P·波尔西克 ;

J·拉姆 .

中国专利 :CN111194359A ,2020-05-22

[10]

铜合金溅射靶 [P].

大月富男 ;

长田健一 .

中国专利 :CN104781447A ,2015-07-15

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