一种具有快速装夹结构的半导体蚀刻机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022520530.2

申请日：

2020-11-04

公开(公告)号：

CN213124411U

公开(公告)日：

2021-05-04

发明(设计)人：

黄伟玲

申请人：

申请人地址：

510000 广东省广州市黄埔区万荟一街50号1305房

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L2167

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种具有清洗结构的半导体蚀刻机 [P].

黄伟玲 .

中国专利 :CN213792997U ,2021-07-27

[2]

半导体蚀刻机用蚀刻头结构 [P].

万琳旭 .

中国专利 :CN221827843U ,2024-10-11

[3]

一种具有废料收集结构的半导体蚀刻机 [P].

黄伟玲 .

中国专利 :CN213124392U ,2021-05-04

[4]

一种具有烘干功能的半导体蚀刻机 [P].

刘超超 ;

高娟 .

中国专利 :CN216084810U ,2022-03-18

[5]

一种具有烘干功能的半导体蚀刻机 [P].

黄伟玲 .

中国专利 :CN213480943U ,2021-06-18

[6]

半导体蚀刻机的连杆组件的改良结构 [P].

吴讃昌 .

中国专利 :CN209785884U ,2019-12-13

[7]

一种具有快速定位结构的半导体 [P].

杨梅 ;

王辉 ;

刘茜 ;

陈彬 ;

韩伟 .

中国专利 :CN215266276U ,2021-12-21

[8]

一种制造半导体瀑布式蚀刻机 [P].

卢炎 ;

崔柏伟 ;

陈叶娣 ;

刘东庭 ;

董何建 ;

晁睿 .

中国专利 :CN214327560U ,2021-10-01

[9]

一种用于半导体清洗机的快速装夹机构 [P].

寿浙琼 ;

陈浩 ;

张峰 ;

顾凯峰 ;

吴城垦 ;

张羽丰 ;

柴晓程 ;

冯磊 .

中国专利 :CN119252791A ,2025-01-03

[10]

一种具有装夹结构的快速切片机 [P].

秦剑 ;

尹伊君 ;

高晓娜 ;

才凤 ;

王平 ;

臧彬如 ;

杨鹏 ;

冷明君 ;

马建光 ;

马秀 ;

王晓雪 ;

王明岩 ;

张赫名 ;

赵洪芸 ;

吕志强 .

中国专利 :CN217097932U ,2022-08-02

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