基于非平衡磁场的双通道连续磁控溅射镀膜设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110087336.2

申请日：

2011-04-08

公开(公告)号：

CN102168253A

公开(公告)日：

2011-08-31

发明(设计)人：

周钧

申请人：

申请人地址：

355200 福建省漳州市漳州开发区太武路10号招商依山海19幢1103室

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

上海宏威知识产权代理有限公司 31250

代理人：

郭春远

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-07-31	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101643245544 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2011100873362 变更事项:申请人变更前权利人:周钧变更后权利人:江苏汇景薄膜科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:355200 福建省漳州市漳州开发区太武路10号招商依山海19幢1103室变更后权利人:225300 江苏省泰州市海陵区九龙镇东兴南路18号1号楼315室登记生效日:20130710
2012-01-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101163709757 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2011100873362 申请日:20110408
2011-08-31	公开	公开
2014-05-07	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101700598029 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2011100873362 申请公布日:20110831

共 50 条

[41]

多功能连续式磁控溅射镀膜装置 [P].

陈宇 .

中国专利 :CN103147053A ,2013-06-12

[42]

一种磁控溅射镀膜设备及镀膜方法 [P].

张绍璞 ;

范刚 ;

黄兴盛 ;

胡征宇 .

中国专利 :CN109898062A ,2019-06-18

[43]

一种磁控溅射镀膜设备及其镀膜方法 [P].

张绍璞 ;

范刚 ;

黄兴盛 ;

胡征宇 .

中国专利 :CN109881170A ,2019-06-14

[44]

多功能连续式磁控溅射镀膜装置 [P].

陈宇 .

中国专利 :CN202968682U ,2013-06-05

[45]

磁控溅射镀膜用的靶材组成及磁控溅射镀膜装置 [P].

李长春 ;

蒙峻 ;

焦纪强 ;

罗成 ;

魏宁斐 ;

刘建龙 ;

姚鹏 .

中国专利 :CN121065643A ,2025-12-05

[46]

用于磁控溅射镀膜屏蔽工件架的防着装置及磁控溅射镀膜设备 [P].

俞峰 ;

郑曜 ;

徐建柱 ;

黄俊凯 .

中国专利 :CN120719267B ,2025-12-16

[47]

用于磁控溅射镀膜屏蔽工件架的防着装置及磁控溅射镀膜设备 [P].

俞峰 ;

郑曜 ;

徐建柱 ;

黄俊凯 .

中国专利 :CN120719267A ,2025-09-30

[48]

一种磁场可调的磁控溅射镀膜阴极机构 [P].

王振东 ;

何万能 .

中国专利 :CN207483841U ,2018-06-12

[49]

一种磁控溅射镀膜设备 [P].

王健文 ;

韩冲 ;

梁凯基 ;

蔡东锋 .

中国专利 :CN202090052U ,2011-12-28

[50]

一种磁控溅射镀膜设备 [P].

佘鹏程 ;

范江华 ;

罗超 ;

陈庆广 ;

龚俊 .

中国专利 :CN112779510B ,2021-05-11

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