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基于非平衡磁场的双通道连续磁控溅射镀膜设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201110087336.2
申请日：
2011-04-08
公开(公告)号：
CN102168253A
公开(公告)日：
2011-08-31
发明(设计)人：
周钧
申请人：
申请人地址：
355200 福建省漳州市漳州开发区太武路10号招商依山海19幢1103室
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
代理机构：
上海宏威知识产权代理有限公司 31250
代理人：
郭春远
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-07-31 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101643245544 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2011100873362 变更事项:申请人 变更前权利人:周钧 变更后权利人:江苏汇景薄膜科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:355200 福建省漳州市漳州开发区太武路10号招商依山海19幢1103室 变更后权利人:225300 江苏省泰州市海陵区九龙镇东兴南路18号1号楼315室 登记生效日:20130710 |
| 2012-01-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101163709757 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2011100873362 申请日:20110408 |
| 2011-08-31 | 公开 | 公开 |
| 2014-05-07 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101700598029 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2011100873362 申请公布日:20110831 |