晶圆片的激光加工方法与装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201611154933.1
申请日
2016-12-14
公开(公告)号
CN106624378A
公开(公告)日
2017-05-10
发明(设计)人
王焱华 庄昌辉 马国东 曾威 朱炜 尹建刚 高云峰
申请人
申请人地址
518000 广东省深圳市南山区深南大道9988号
IPC主分类号
B23K2638
IPC分类号
B23K2603 B23K2670
代理机构
深圳市道臻知识产权代理有限公司 44360
代理人
陈琳
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
晶圆片激光加工方法 [P]. 
丛晓晗 ;
尹建刚 ;
唐建刚 ;
蒋晓华 ;
曾威 ;
李海涛 ;
杨名宇 ;
高云峰 .
中国专利 :CN103537806A ,2014-01-29
[2]
晶圆片激光加工方法 [P]. 
高昆 ;
叶树铃 ;
邴虹 ;
陈红 ;
李瑜 ;
庄昌辉 ;
张红江 ;
刘立文 ;
欧明辉 ;
迟彦龙 ;
马国东 ;
高云峰 .
中国专利 :CN103545253A ,2014-01-29
[3]
晶圆片激光加工方法 [P]. 
高昆 ;
叶树铃 ;
庄昌辉 ;
邴虹 ;
李瑜 ;
马国东 ;
刘立文 ;
杨振华 ;
高云峰 .
中国专利 :CN103545254A ,2014-01-29
[4]
晶圆片激光切割方法及晶圆片加工方法 [P]. 
高昆 ;
叶树铃 ;
庄昌辉 ;
邴虹 ;
李瑜 ;
张红江 ;
李福海 ;
迟彦龙 ;
欧明辉 ;
高云峰 .
中国专利 :CN103537805B ,2014-01-29
[5]
LED晶圆片的激光加工方法 [P]. 
王焱华 ;
庄昌辉 ;
马国东 ;
曾威 ;
朱炜 ;
尹建刚 ;
高云峰 .
中国专利 :CN106238907A ,2016-12-21
[6]
晶圆片激光切割方法及系统 [P]. 
王汞 ;
孙得荣 ;
李云飞 ;
于宇 ;
沈成彬 ;
王新江 ;
夏龙 ;
马修远 ;
徐虎子 ;
刘强 ;
刘亚洲 .
中国专利 :CN118808941A ,2024-10-22
[7]
激光加工装置、激光加工方法及晶圆 [P]. 
坂本刚志 ;
宫田裕大 ;
关本祐介 ;
是松克洋 .
中国专利 :CN115362532A ,2022-11-18
[8]
LED晶圆片的加工方法 [P]. 
任达 ;
陈红 ;
卢建刚 ;
张红江 ;
盛存国 ;
尹建刚 ;
黄浩 ;
高云峰 .
中国专利 :CN110039205A ,2019-07-23
[9]
晶圆片的激光全切割方法 [P]. 
何国洪 .
中国专利 :CN111299866A ,2020-06-19
[10]
一种激光加工晶圆的方法及装置 [P]. 
侯煜 ;
李纪东 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN109570783A ,2019-04-05