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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-06-03 | 著录事项变更 | 著录事项变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101715842278 IPC(主分类):H01L 21/60 专利申请号:2012102839924 变更事项:发明人 变更前:傅建树;陈小红;余咏梅;张南菊 变更后:兰海;余咏梅;傅建树;邹琦 |
| 2015-09-09 | 授权 | 授权 |
| 2013-08-14 | 公开 | 公开 |
| 2013-09-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101517525879 IPC(主分类):H01L 21/60 专利申请号:2012102839924 申请日:20120810 |