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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-07-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101616810646 IPC(主分类):H01L 21/28 专利申请号:2013106840200 申请日:20131212 |
| 2015-06-17 | 公开 | 公开 |
| 2018-03-20 | 授权 | 授权 |