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一种半导体制造用阀门密封连接装置
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202120978100.7
申请日
:
2021-05-10
公开(公告)号
:
CN214699642U
公开(公告)日
:
2021-11-12
发明(设计)人
:
王汉清
申请人
:
申请人地址
:
226001 江苏省南通市崇川区姚港路52号江景苑A座205室
IPC主分类号
:
F16L23032
IPC分类号
:
F16L23024
F16L2318
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-11-12
授权
授权
共 50 条
[1]
一种半导体制造用阀门密封连接装置
[P].
王汉清
论文数:
0
引用数:
0
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0
王汉清
.
中国专利
:CN216618904U
,2022-05-27
[2]
一种密封圈、半导体制造用真空阀门及半导体设备
[P].
祁丹丹
论文数:
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0
祁丹丹
;
罗家宏
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罗家宏
.
中国专利
:CN211259627U
,2020-08-14
[3]
一种半导体制造用阀门毛刺打磨装置
[P].
王汉清
论文数:
0
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0
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0
王汉清
.
中国专利
:CN215036059U
,2021-12-07
[4]
阀门及半导体制造机台
[P].
蔺伟伟
论文数:
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0
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机构:
芯恩(青岛)集成电路有限公司
芯恩(青岛)集成电路有限公司
蔺伟伟
.
中国专利
:CN222977564U
,2025-06-13
[5]
半导体制造装置以及半导体制造方法
[P].
藤仓序章
论文数:
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藤仓序章
.
中国专利
:CN106796872B
,2017-05-31
[6]
密封构件及半导体制造装置
[P].
平野诚一
论文数:
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机构:
大金工业株式会社
大金工业株式会社
平野诚一
;
太田大助
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机构:
大金工业株式会社
大金工业株式会社
太田大助
;
野原明日香
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机构:
大金工业株式会社
大金工业株式会社
野原明日香
.
日本专利
:CN222513718U
,2025-02-21
[7]
一种半导体制造用超洁净阀门
[P].
王静
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机构:
中科艾尔(北京)科技有限公司
中科艾尔(北京)科技有限公司
王静
;
王保保
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机构:
中科艾尔(北京)科技有限公司
中科艾尔(北京)科技有限公司
王保保
;
索赛金
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机构:
中科艾尔(北京)科技有限公司
中科艾尔(北京)科技有限公司
索赛金
;
高翔
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机构:
中科艾尔(北京)科技有限公司
中科艾尔(北京)科技有限公司
高翔
;
靳国胜
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机构:
中科艾尔(北京)科技有限公司
中科艾尔(北京)科技有限公司
靳国胜
;
袁辉
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机构:
中科艾尔(北京)科技有限公司
中科艾尔(北京)科技有限公司
袁辉
;
张俊
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机构:
中科艾尔(北京)科技有限公司
中科艾尔(北京)科技有限公司
张俊
;
耿德占
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机构:
中科艾尔(北京)科技有限公司
中科艾尔(北京)科技有限公司
耿德占
.
中国专利
:CN119934209B
,2025-07-29
[8]
一种半导体制造用超洁净阀门
[P].
王静
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机构:
中科艾尔(北京)科技有限公司
中科艾尔(北京)科技有限公司
王静
;
王保保
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机构:
中科艾尔(北京)科技有限公司
中科艾尔(北京)科技有限公司
王保保
;
索赛金
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机构:
中科艾尔(北京)科技有限公司
中科艾尔(北京)科技有限公司
索赛金
;
高翔
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机构:
中科艾尔(北京)科技有限公司
中科艾尔(北京)科技有限公司
高翔
;
靳国胜
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机构:
中科艾尔(北京)科技有限公司
中科艾尔(北京)科技有限公司
靳国胜
;
袁辉
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机构:
中科艾尔(北京)科技有限公司
中科艾尔(北京)科技有限公司
袁辉
;
张俊
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机构:
中科艾尔(北京)科技有限公司
中科艾尔(北京)科技有限公司
张俊
;
耿德占
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0
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机构:
中科艾尔(北京)科技有限公司
中科艾尔(北京)科技有限公司
耿德占
.
中国专利
:CN119934209A
,2025-05-06
[9]
一种半导体制造用真空阀活塞装置
[P].
王汉清
论文数:
0
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0
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0
王汉清
.
中国专利
:CN216589010U
,2022-05-24
[10]
半导体制造装置用密封件
[P].
金相镐
论文数:
0
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0
金相镐
.
中国专利
:CN305324980S
,2019-08-30
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