基于光束扫描共焦探测技术的探针传感方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510381702.3

申请日：

2015-07-02

公开(公告)号：

CN105021128A

公开(公告)日：

2015-11-04

发明(设计)人：

邹丽敏倪赫谭久彬

申请人：

申请人地址：

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

IPC主分类号：

G01B1100

IPC分类号：

代理机构：

哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209

代理人：

张伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-09-26	授权	授权
2015-12-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101635139341 IPC(主分类):G01B 11/00 专利申请号:2015103817023 申请日:20150702
2015-11-04	公开	公开

共 50 条

[1]

一种基于光束扫描探测的组合悬臂梁探针传感装置及传感方法 [P].

倪赫 ;

邹丽敏 ;

张鹏 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN105841609B ,2016-08-10

[2]

基于共轭焦点跟踪探测技术的探针传感装置 [P].

邹丽敏 ;

倪赫 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN104990499B ,2015-10-21

[3]

基于共焦探测的大深径比微孔测量传感方法及装置 [P].

张韬 ;

张春华 ;

熊流广 ;

潘泽权 ;

张健 .

中国专利 :CN115406357A ,2022-11-29

[4]

基于光纤出射光探测的组合悬臂梁探针传感方法及装置 [P].

邹丽敏 ;

倪赫 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN105043255A ,2015-11-11

[5]

基于波长扫描的光谱共焦位移测量方法及装置 [P].

段发阶 ;

傅骁 ;

黄婷婷 ;

马凌 ;

张聪 ;

程沁蕊 .

中国专利 :CN109163662A ,2019-01-08

[6]

基于波长扫描的光谱共焦位移测量装置 [P].

段发阶 ;

傅骁 ;

黄婷婷 ;

马凌 ;

张聪 ;

程沁蕊 .

中国专利 :CN208721004U ,2019-04-09

[7]

基于玻璃平板进行光束扫描的面阵探测器简便定焦方法 [P].

刘欣 ;

王姗姗 ;

朱秋东 ;

张沛晗 ;

张春京 ;

郝磊磊 .

中国专利 :CN119575642A ,2025-03-07

[8]

基于玻璃平板进行光束扫描的面阵探测器简便定焦方法 [P].

刘欣 ;

王姗姗 ;

朱秋东 ;

张沛晗 ;

张春京 ;

郝磊磊 .

中国专利 :CN119575642B ,2025-09-30

[9]

光束扫描装置及光束扫描方法 [P].

加藤正纪 .

中国专利 :CN109212748A ,2019-01-15

[10]

基于差动彩色共焦技术的自由曲面测量装置及检测方法 [P].

张宇 .

中国专利 :CN112197714B ,2021-01-08

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