栅极结构及制造方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201210283178.2
申请日
2012-08-10
公开(公告)号
CN103579317A
公开(公告)日
2014-02-12
发明(设计)人
陈瑜 陈华伦 罗啸
申请人
申请人地址
201206 上海市浦东新区川桥路1188号
IPC主分类号
H01L29423
IPC分类号
H01L2128
代理机构
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人
丁纪铁
法律状态
发明专利申请公布后的驳回
国省代码
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共 50 条
[1]
一种栅极结构及其制造方法 [P]. 
马万里 .
中国专利 :CN107437501A ,2017-12-05
[2]
栅极结构及方法 [P]. 
陈瑜 ;
熊涛 ;
罗啸 .
中国专利 :CN102446734A ,2012-05-09
[3]
栅极结构的制造方法 [P]. 
李秋德 .
中国专利 :CN101562131A ,2009-10-21
[4]
栅极结构及其制造方法 [P]. 
玛库斯·穆勒 ;
彼诺伊特·弗洛米尼 .
中国专利 :CN101061586A ,2007-10-24
[5]
CMOS器件的栅极结构及其制造方法 [P]. 
陈瑜 ;
罗啸 ;
袁苑 .
中国专利 :CN104779273A ,2015-07-15
[6]
栅极结构及其制造方法及具此栅极结构的金氧半导体元件 [P]. 
陈佳麟 ;
姚亮吉 ;
陈世昌 .
中国专利 :CN1481031A ,2004-03-10
[7]
多晶硅栅极结构 [P]. 
刘继全 ;
彭虎 .
中国专利 :CN102376756A ,2012-03-14
[8]
半导体器件栅极结构的制造方法 [P]. 
吴汉明 .
中国专利 :CN101038870A ,2007-09-19
[9]
改善N型和P型栅极多晶硅接触的方法 [P]. 
陈瑜 ;
马斌 ;
陈华伦 ;
罗啸 ;
郭振强 .
中国专利 :CN104637880A ,2015-05-20
[10]
栅极制造方法 [P]. 
向阳辉 ;
刘艳 .
中国专利 :CN102074466A ,2011-05-25