一种晶圆磨削装置

被引：0

申请号：

CN202221214959.1

申请日：

2022-05-18

公开(公告)号：

CN217513573U

公开(公告)日：

2022-09-30

发明(设计)人：

孙大海钱少杰

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市高新区泰山路688号

IPC主分类号：

B24B1900

IPC分类号：

B24B4106 B24B5702 B24B5704

代理机构：

苏州三英知识产权代理有限公司 32412

代理人：

周仁青

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-30	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆磨削设备 [P].

赵德文 ;

刘远航 ;

路新春 ;

王江涛 ;

马旭 .

中国专利 :CN211490781U ,2020-09-15

[2]

晶圆磨削方法及晶圆磨削系统 [P].

刘远航 ;

赵德文 ;

李长坤 ;

马旭 ;

路新春 .

中国专利 :CN111730431B ,2020-10-02

[3]

晶圆磨削方法及晶圆磨削系统 [P].

刘远航 ;

赵德文 ;

李长坤 ;

马旭 ;

路新春 .

中国专利 :CN111618707A ,2020-09-04

[4]

磨削装置及晶圆磨削设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221583098U ,2024-08-23

[5]

磨削工作台和晶圆磨削设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221967649U ,2024-11-08

[6]

磨轮、晶圆磨削装置及晶圆磨削方法 [P].

贺鑫 .

中国专利 :CN119427122A ,2025-02-14

[7]

清洗装置以及晶圆磨削装置 [P].

赵长福 ;

马旭 ;

刘远航 .

中国专利 :CN117444741A ,2024-01-26

[8]

一种晶圆减薄机磨削装置 [P].

陈超 .

中国专利 :CN117754382A ,2024-03-26

[9]

一种晶圆减薄机磨削装置 [P].

陈超 .

中国专利 :CN117754382B ,2024-08-13

[10]

晶圆磨削主轴组件 [P].

路新春 ;

刘远航 ;

赵德文 ;

王江涛 .

中国专利 :CN213164839U ,2021-05-11

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