晶圆磨削方法及晶圆磨削系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010749663.9

申请日：

2020-07-30

公开(公告)号：

CN111618707A

公开(公告)日：

2020-09-04

发明(设计)人：

刘远航赵德文李长坤马旭路新春

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区清华园1号

IPC主分类号：

B24B1922

IPC分类号：

B24B2700 B24B4102 B24B4104 B24B4720 B24B4900

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 19/22 申请日:20200730
2021-07-30	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B24B 19/22 申请公布日:20200904
2020-09-04	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆磨削方法及晶圆磨削系统 [P].

刘远航 ;

赵德文 ;

李长坤 ;

马旭 ;

路新春 .

中国专利 :CN111730431B ,2020-10-02

[2]

晶圆磨削方法及晶圆 [P].

李官志 ;

杨轩毅 ;

刘普然 .

中国专利 :CN118404399A ,2024-07-30

[3]

磨轮、晶圆磨削装置及晶圆磨削方法 [P].

贺鑫 .

中国专利 :CN119427122A ,2025-02-14

[4]

晶圆磨削设备 [P].

赵德文 ;

刘远航 ;

路新春 ;

王江涛 ;

马旭 .

中国专利 :CN211490781U ,2020-09-15

[5]

磨削装置及晶圆磨削设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221583098U ,2024-08-23

[6]

晶圆磨削主轴组件 [P].

路新春 ;

刘远航 ;

赵德文 ;

王江涛 .

中国专利 :CN213164839U ,2021-05-11

[7]

磨削工作台和晶圆磨削设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221967649U ,2024-11-08

[8]

清洗装置及晶圆磨削设备 [P].

刘宇光 ;

王刚 ;

李远航 ;

金豪 ;

刘宇 .

中国专利 :CN117943975A ,2024-04-30

[9]

清洗装置以及晶圆磨削装置 [P].

赵长福 ;

马旭 ;

刘远航 .

中国专利 :CN117444741A ,2024-01-26

[10]

一种晶圆磨削装置 [P].

孙大海 ;

钱少杰 .

中国专利 :CN217513573U ,2022-09-30

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