改善铝互连结构层间对准标记质量的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011355224.6

申请日：

2020-11-27

公开(公告)号：

CN112435960B

公开(公告)日：

2021-03-02

发明(设计)人：

王柯程刘锁范晓王函陈广龙

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

戴广志

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20201127
2021-03-02	公开	公开
2022-09-30	授权	授权

共 50 条

[1]

铜互连结构的清洗方法 [P].

罗朝以 ;

许力恒 ;

夏汇哲 ;

李松 .

中国专利 :CN113506722A ,2021-10-15

[2]

金属互连结构的制作方法 [P].

李存宝 ;

孙少俊 ;

冯冰 ;

郭振强 .

中国专利 :CN117995768A ,2024-05-07

[3]

自对准互连结构及其制造方法 [P].

K·俊 ;

S·高希 ;

W·拉赫马迪 ;

A·阿格拉瓦尔 ;

S·舒克赛 ;

J·托雷斯 ;

J·卡瓦列罗斯 ;

M·梅茨 ;

R·基奇 ;

K·甘古利 ;

A·默西 .

中国专利 :CN114664789A ,2022-06-24

[4]

跨层互连结构的制备方法、跨层互连结构及半导体器件 [P].

吴恒 ;

郭睿 ;

卢浩然 ;

孙嘉诚 ;

王润声 ;

黎明 ;

黄如 .

中国专利 :CN118352341B ,2025-04-15

[5]

跨层互连结构的制备方法、跨层互连结构及半导体器件 [P].

吴恒 ;

郭睿 ;

卢浩然 ;

孙嘉诚 ;

王润声 ;

黎明 ;

黄如 .

中国专利 :CN118352341A ,2024-07-16

[6]

层间介电层、互连结构及其制造方法 [P].

程永亮 ;

王娉婷 ;

高关且 ;

杨承 ;

朱虹 ;

吴金刚 .

中国专利 :CN101740473B ,2010-06-16

[7]

一种采用新型合金籽晶层的铜互连结构及其制备方法 [P].

卢红亮 ;

张卫 ;

孙清清 ;

徐赛生 ;

王鹏飞 ;

丁士进 .

中国专利 :CN102832198A ,2012-12-19

[8]

用于形成自对准互连结构的方法 [P].

刘如淦 ;

张世明 ;

伍海涛 .

中国专利 :CN112309963A ,2021-02-02

[9]

用于形成自对准互连结构的方法 [P].

刘如淦 ;

张世明 ;

伍海涛 .

中国专利 :CN112309963B ,2025-04-22

[10]

一种采用新型扩散阻挡层的铜互连结构及其制备方法 [P].

卢红亮 ;

谢立恒 ;

孙清清 ;

王鹏飞 ;

丁士进 ;

张卫 .

中国专利 :CN102693958A ,2012-09-26

← 1 2 3 4 5 →