一种硅晶片进出花篮自动调节输送装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202121532222.X
申请日
2021-07-06
公开(公告)号
CN216054616U
公开(公告)日
2022-03-15
发明(设计)人
吴廷斌 张学强 张建伟 罗银兵 陈笃林
申请人
申请人地址
215000 江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号
IPC主分类号
H01L21677
IPC分类号
H01L3118
代理机构
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257
代理人
朱振德
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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