一种半导体产品刻蚀用清洗设备

被引：0

申请号：

CN202221838874.0

申请日：

2022-07-15

公开(公告)号：

CN217933722U

公开(公告)日：

2022-11-29

发明(设计)人：

陈富伦

申请人：

申请人地址：

222000 江苏省连云港市海州区新浦经济开发区长江西路南侧

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

B08B312 B08B1300

代理机构：

连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330

代理人：

徐小琴

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种半导体产品刻蚀用清洗设备 [P].

卫志勇 ;

田学超 ;

高建 ;

刘先兵 ;

周扬 ;

潘洪伟 .

中国专利 :CN120432409A ,2025-08-05

[2]

一种半导体清洗设备 [P].

徐贺 ;

张朋飞 ;

王子会 .

中国专利 :CN221109203U ,2024-06-11

[3]

一种半导体生产用清洗装置 [P].

刘明华 ;

甘健康 .

中国专利 :CN216420376U ,2022-05-03

[4]

一种半导体产品水刀清洗设备 [P].

代永宣 ;

石金辉 ;

江先办 .

中国专利 :CN222241555U ,2024-12-27

[5]

一种半导体产品的清洗机 [P].

江富琴 .

中国专利 :CN209266365U ,2019-08-16

[6]

一种声波震动半导体晶圆片清洗设备 [P].

刘卫科 .

中国专利 :CN212681872U ,2021-03-12

[7]

半导体晶圆刻蚀清洗设备 [P].

刘金升 ;

张辉 .

中国专利 :CN307570458S ,2022-09-27

[8]

一种半导体清洗设备用烘干装置 [P].

徐竹起 .

中国专利 :CN113701464A ,2021-11-26

[9]

一种半导体设备的器件清洗装置 [P].

范新亭 .

中国专利 :CN209255385U ,2019-08-16

[10]

一种半导体刻蚀加工用清洗设备 [P].

陈富伦 ;

刘明伟 ;

徐传达 ;

倪玲 .

中国专利 :CN217911761U ,2022-11-29

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