一种半导体设备的真空密封门装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010896342.1

申请日：

2020-08-31

公开(公告)号：

CN112081496A

公开(公告)日：

2020-12-15

发明(设计)人：

佘鹏程龚俊张双景

申请人：

申请人地址：

410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号

IPC主分类号：

E06B344

IPC分类号：

E06B716 E05F1557 H01L2167

代理机构：

湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008

代理人：

戴玲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):E06B 3/44 申请日:20200831
2020-12-15	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于真空传送腔体的真空密封门及半导体设备 [P].

郑锦 ;

范嘉磊 ;

李立松 ;

倪明 ;

刘松 .

中国专利 :CN217054794U ,2022-07-26

[2]

一种半导体设备真空腔体密封门装置 [P].

佘鹏程 ;

程文进 ;

彭华东 ;

范江华 ;

龚俊 .

中国专利 :CN112746799A ,2021-05-04

[3]

一种半导体真空设备的密封门装置 [P].

龚俊 ;

佘鹏程 ;

胡凡 ;

彭立波 .

中国专利 :CN107644826B ,2018-01-30

[4]

密封门装置和半导体设备 [P].

傅林坚 ;

刘毅 ;

陈聪 ;

孙菁阳 ;

谢晓云 .

中国专利 :CN220487403U ,2024-02-13

[5]

密封门及半导体设备 [P].

吴涛 ;

韩彬 ;

田永安 .

中国专利 :CN222649843U ,2025-03-21

[6]

密封门及半导体设备 [P].

张景南 ;

巫碧勤 ;

彭俊昇 ;

万航 .

中国专利 :CN115749542B ,2025-05-02

[7]

密封门冷却系统及半导体设备 [P].

王亦峰 ;

曹雷俊 ;

王雪领 .

中国专利 :CN222048579U ,2024-11-22

[8]

一种真空密封旋转升降系统及半导体设备 [P].

马福厚 ;

孙文彬 ;

林政勋 ;

戴建波 .

中国专利 :CN114076197A ,2022-02-22

[9]

密封门、半导体工艺设备及半导体加工设备 [P].

常鸿超 ;

田永安 ;

王福金 ;

王明伟 ;

韩彬 ;

高博 .

中国专利 :CN117627508A ,2024-03-01

[10]

一种真空腔体密封结构和半导体设备 [P].

王正根 ;

陈刚 .

中国专利 :CN221170766U ,2024-06-18

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