一种半导体设备真空腔体密封门装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911052090.8

申请日：

2019-10-31

公开(公告)号：

CN112746799A

公开(公告)日：

2021-05-04

发明(设计)人：

佘鹏程程文进彭华东范江华龚俊

申请人：

申请人地址：

410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号

IPC主分类号：

E06B512

IPC分类号：

E05F1557 E05D1300 H01L2167

代理机构：

湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008

代理人：

徐好

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-04	公开	公开
2021-05-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):E06B 5/12 申请日:20191031

共 50 条

[1]

真空腔体及半导体设备 [P].

宋伟健 ;

高智伟 ;

母凤文 ;

谭向虎 ;

刘福超 .

中国专利 :CN223409704U ,2025-10-03

[2]

一种真空腔体密封结构和半导体设备 [P].

王正根 ;

陈刚 .

中国专利 :CN221170766U ,2024-06-18

[3]

一种真空腔体的密封门结构 [P].

袁卫华 ;

彭立波 ;

程文进 ;

易文杰 ;

颜秀文 ;

徐松 ;

罗才旺 .

中国专利 :CN111042691A ,2020-04-21

[4]

一种半导体设备用真空腔体 [P].

郑丹 ;

刘方 ;

于粘粘 .

中国专利 :CN221947106U ,2024-11-01

[5]

一种半导体设备的真空密封门装置 [P].

佘鹏程 ;

龚俊 ;

张双景 .

中国专利 :CN112081496A ,2020-12-15

[6]

密封门装置和半导体设备 [P].

傅林坚 ;

刘毅 ;

陈聪 ;

孙菁阳 ;

谢晓云 .

中国专利 :CN220487403U ,2024-02-13

[7]

一种半导体真空设备的密封门装置 [P].

龚俊 ;

佘鹏程 ;

胡凡 ;

彭立波 .

中国专利 :CN107644826B ,2018-01-30

[8]

一种用于真空传送腔体的真空密封门及半导体设备 [P].

郑锦 ;

范嘉磊 ;

李立松 ;

倪明 ;

刘松 .

中国专利 :CN217054794U ,2022-07-26

[9]

密封门及半导体设备 [P].

吴涛 ;

韩彬 ;

田永安 .

中国专利 :CN222649843U ,2025-03-21

[10]

一种半导体设备真空腔体静电吸盘清洗方法 [P].

薛弘宇 ;

顾仁宝 ;

朱翔鸣 ;

李伟东 ;

朱文健 ;

靳普云 ;

韩伟男 ;

白晓天 ;

张牧 ;

徐钰虹 ;

顾鹏铭 .

中国专利 :CN117415091A ,2024-01-19

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