栅极堆叠结构及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010275137.X

申请日：

2010-09-01

公开(公告)号：

CN102386217B

公开(公告)日：

2012-03-21

发明(设计)人：

洪中山

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L29423

IPC分类号：

H01L2943 H01L21283

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-06-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101258530843 IPC(主分类):H01L 29/423 专利申请号:201010275137X 申请日:20100901
2012-03-21	公开	公开
2014-02-05	授权	授权
2012-12-05	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101479156207 IPC(主分类):H01L 29/423 专利申请号:201010275137X 变更事项:申请人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更事项:申请人变更前权利人:无变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司登记生效日:20121101

共 50 条

[1]

金属栅极结构及其制作方法 [P].

郑存闵 ;

何念葶 ;

陈健豪 ;

张净云 ;

黄信富 ;

蔡旻錞 ;

孙启原 ;

许启茂 .

中国专利 :CN104425575A ,2015-03-18

[2]

栅极堆叠结构的制作方法 [P].

何德彦 .

中国专利 :CN119008393A ,2024-11-22

[3]

栅极结构及其制作方法 [P].

赵杰 .

中国专利 :CN104979177B ,2015-10-14

[4]

金属栅极结构及其制作方法 [P].

杨建伦 ;

许启茂 ;

吴俊元 ;

郑子铭 ;

邹世芳 ;

林进富 ;

黄信富 ;

蔡旻錞 .

中国专利 :CN102683397A ,2012-09-19

[5]

金属栅堆叠结构的制作方法 [P].

陈乐乐 .

中国专利 :CN102931066A ,2013-02-13

[6]

埋入式栅极结构及其制作方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN112652528B ,2021-04-13

[7]

金属栅极制作方法 [P].

周鸣 ;

平延磊 .

中国专利 :CN103681273A ,2014-03-26

[8]

垂直栅极结构及其制作方法 [P].

谢颂康 ;

吕亚冰 ;

荆泉 ;

陈力钧 .

中国专利 :CN120857583A ,2025-10-28

[9]

栅极制作方法 [P].

郑志祥 .

中国专利 :CN101192528A ,2008-06-04

[10]

金属栅极的制作方法 [P].

王韶韦 ;

王俞仁 ;

林建良 ;

邓文仪 ;

吕佐文 ;

陈致中 ;

颜英伟 ;

林钰闵 ;

简金城 ;

陈哲明 ;

徐俊伟 ;

张家隆 ;

吴宜静 ;

詹书俨 .

中国专利 :CN102842491A ,2012-12-26

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