具有解耦驱动系统的MEMS传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510258053.8

申请日：

2015-05-20

公开(公告)号：

CN105091875A

公开(公告)日：

2015-11-25

发明(设计)人：

奥赞·阿纳奇约瑟夫·西格

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

G01C195733

IPC分类号：

G01C19574 G01C195712

代理机构：

北京安信方达知识产权代理有限公司 11262

代理人：

张瑞;郑霞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101638524093 IPC(主分类):G01C 19/5733 专利申请号:2015102580538 申请日:20150520
2019-08-02	授权	授权
2018-04-24	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):G01C 19/5733 变更事项:申请人变更前:因文森斯公司变更后:应美盛公司变更事项:地址变更前:美国加利福尼亚州变更后:美国加利福尼亚州
2015-11-25	公开	公开

共 50 条

[1]

MEMS传感器的驱动装置及其驱动方法、使用MEMS的有源传感器 [P].

松久和弘 ;

福元康司 ;

长田昌也 ;

安井淳人 .

中国专利 :CN100564240C ,2007-04-25

[2]

MEMS传感器驱动电路 [P].

李国勇 ;

陈华 ;

孟真 ;

阎跃鹏 .

中国专利 :CN113014217B ,2024-07-05

[3]

MEMS传感器驱动电路 [P].

李国勇 ;

陈华 ;

孟真 ;

阎跃鹏 .

中国专利 :CN113014217A ,2021-06-22

[4]

基于多MEMS传感器的动态载体姿态测量系统 [P].

朱维 .

中国专利 :CN202661077U ,2013-01-09

[5]

MEMS传感器 [P].

托马斯·弗勒利希 ;

马克·尼德伯格 ;

科林·斯蒂尔 ;

雷内·朔伊纳 ;

托马斯·克里斯坦 ;

卢卡斯·佩尔克托尔德 ;

范维东 .

中国专利 :CN109983692A ,2019-07-05

[6]

MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统 [P].

李宗伟 ;

韩可都 ;

刘婧 ;

冯方方 ;

杨长春 .

中国专利 :CN110763870A ,2020-02-07

[7]

MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统 [P].

李宗伟 ;

周永建 ;

张潇筱 ;

刘婧 ;

孟海龙 ;

杨长春 ;

韩可都 ;

冯方方 .

中国专利 :CN111561958A ,2020-08-21

[8]

MEMS传感器、MEMS传感器系统及其制造方法 [P].

D·图姆波德 ;

D·迈尔 .

中国专利 :CN110498385A ,2019-11-26

[9]

MEMS传感器、MEMS传感器系统及其制造方法 [P].

D·图姆波德 ;

D·迈尔 .

德国专利 :CN110498385B ,2024-08-30

[10]

MEMS传感器用模块、振动驱动模块及MEMS传感器 [P].

冈见威 ;

辻信昭 ;

小野秀和 .

中国专利 :CN105452809A ,2016-03-30

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