无掩膜光刻机

被引：0

专利类型：

外观设计

申请号：

CN201330070745.1

申请日：

2013-03-19

公开(公告)号：

CN302497425S

公开(公告)日：

2013-07-10

发明(设计)人：

王楠胡松赵立新王淑蓉陈铭勇其他设计人请求不公开姓名

申请人：

申请人地址：

610209 四川省成都市双流350信箱

IPC主分类号：

1509

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

汪惠民

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-11	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101659977233 主分类号:15-09 专利号:ZL2013300707451 申请日:20130319 授权公告日:20130710 终止日期:20150319
2013-07-10	授权	授权

共 50 条

[1]

无掩膜光刻机 [P].

王楠 ;

胡松 ;

赵立新 ;

王淑蓉 ;

陈铭勇 ;

其他设计人请求不公开姓名 .

中国专利 :CN302497424S ,2013-07-10

[2]

用于无掩膜光刻机的曝光镜头及无掩膜光刻机 [P].

桂立 ;

陆永杰 .

中国专利 :CN217238599U ,2022-08-19

[3]

无掩膜光刻机控制系统 [P].

叶权 ;

向正西 .

中国专利 :CN208819019U ,2019-05-03

[4]

一种新型无掩膜光刻机 [P].

彭劲 .

中国专利 :CN117420739A ,2024-01-19

[5]

一种简易的无掩膜光刻机 [P].

袁根如 ;

郝茂盛 ;

张楠 ;

李士涛 ;

朱广敏 ;

陈诚 .

中国专利 :CN202735679U ,2013-02-13

[6]

提高无掩膜光刻机曝光功率密度的装置、方法及光刻机 [P].

卞洪飞 ;

张辉 ;

叶加良 ;

陈东 .

中国专利 :CN119292005B ,2025-10-10

[7]

提高无掩膜光刻机曝光功率密度的装置、方法及光刻机 [P].

卞洪飞 ;

张辉 ;

叶加良 ;

陈东 .

中国专利 :CN119292005A ,2025-01-10

[8]

紫外宽光谱无掩膜光刻成像系统以及光刻机 [P].

李鹏飞 ;

杨宇航 ;

蔡潍 ;

戚蓉蓉 .

中国专利 :CN215067714U ,2021-12-07

[9]

紫外宽光谱无掩膜光刻成像系统以及光刻机 [P].

李鹏飞 ;

杨宇航 ;

蔡潍 ;

戚蓉蓉 .

中国专利 :CN113219793B ,2021-08-06

[10]

一种基于无掩膜光刻机的数字掩膜版工艺 [P].

冯捷 ;

吴阳 ;

严振中 ;

刘威 .

中国专利 :CN113064330B ,2021-07-02

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