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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-04-02 | 授权 | 授权 |
| 2022-08-26 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01B 11/14 变更事项:专利权人 变更前:深圳市大族激光科技股份有限公司 变更后:大族激光科技产业集团股份有限公司 变更事项:地址 变更前:518000 广东省深圳市南山区高新技术园北区新西路9号 变更后:518000 广东省深圳市南山区深南大道9988号 |
| 2022-08-26 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):G01B 11/14 登记生效日:20220816 变更事项:专利权人 变更前权利人:大族激光科技产业集团股份有限公司 变更后权利人:深圳市大族半导体装备科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:518000 广东省深圳市南山区深南大道9988号 变更后权利人:518000 广东省深圳市宝安区福海街道桥头社区万延工业区第六栋101 |