采用聚焦离子束的电路跟踪

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410164753.6

申请日：

2014-04-23

公开(公告)号：

CN104122282B

公开(公告)日：

2014-10-29

发明(设计)人：

克里斯·帕夫洛维奇亚历山大·索金迈克尔·W·法纳夫亚历山大·克里茨米尔肯·G·拉加里克

申请人：

申请人地址：

加拿大安大略省

IPC主分类号：

G01N2322

IPC分类号：

代理机构：

上海申新律师事务所 31272

代理人：

吴俊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-01-18	授权	授权
2016-06-08	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101733953635 IPC(主分类):G01N 23/22 专利申请号:2014101647536 登记生效日:20160520 变更事项:申请人变更前权利人:克里斯·帕夫洛维奇变更后权利人:泰科英赛科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:加拿大安大略省变更后权利人:加拿大安大略省变更事项:申请人变更前权利人:亚历山大·索金;迈克尔·W·法纳夫;亚历山大·克里茨米尔;肯·G·拉加里克变更后权利人:无
2014-10-29	公开	公开
2014-12-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101589572267 IPC(主分类):G01N 23/22 专利申请号:2014101647536 申请日:20140423

共 50 条

[21]

一种利用聚焦离子束技术制备光纤探针的方法 [P].

邵天敏 ;

张少婧 ;

刘佳琛 ;

王惠 ;

刘大猛 .

中国专利 :CN102590560A ,2012-07-18

[22]

基于聚焦离子束技术深刻蚀一维光子晶体的方法 [P].

徐军 ;

章蓓 ;

张振生 ;

代涛 .

中国专利 :CN1983509A ,2007-06-20

[23]

基于聚焦离子束刻蚀光波导的方法 [P].

杨琳娟 ;

姜潇潇 ;

谷琼婵 ;

宋爱娟 ;

梁丽勤 ;

吕江涛 ;

王凤文 ;

司光远 .

中国专利 :CN103064147B ,2013-04-24

[24]

电感耦合等离子体和聚焦离子束刻蚀的微光开关加工方法 [P].

代俊 ;

张崇飞 ;

徐浩然 ;

谢晋 ;

熊壮 ;

唐彬 ;

黄金红 ;

廖运来 .

中国专利 :CN112735936B ,2021-04-30

[25]

一种利用聚焦离子束技术制备光纤探针装置 [P].

高寒松 ;

高小寒 ;

王硕 .

中国专利 :CN217787135U ,2022-11-11

[26]

利用聚焦离子束加工透射样品的方法 [P].

吴华强 ;

孙雯 ;

高滨 ;

唐建石 ;

钱鹤 ;

王钰言 .

中国专利 :CN119804090A ,2025-04-11

[27]

监测芯片内部电位的聚焦离子束方法 [P].

马香柏 ;

芮志贤 ;

张君 .

中国专利 :CN103579034B ,2014-02-12

[28]

加入光学检查功能的聚焦离子束机台 [P].

曾元宏 ;

张育嘉 .

中国专利 :CN201523001U ,2010-07-07

[29]

不均匀的D形聚焦离子束 [P].

G·格莱希尔 .

美国专利 :CN121054454A ,2025-12-02

[30]

聚焦离子束物理气相沉积装置 [P].

孙嵩泉 ;

郭祖华 ;

朱向炜 ;

葛怀庆 .

中国专利 :CN205275693U ,2016-06-01

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