聚焦离子束低千伏增强

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410066714.2

申请日：

2014-02-26

公开(公告)号：

CN104008943A

公开(公告)日：

2014-08-27

发明(设计)人：

M.马佐斯

申请人：

申请人地址：

美国俄勒冈州

IPC主分类号：

H01J3721

IPC分类号：

H01J37147 H01J3728 H01J3710

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

马红梅;胡莉莉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-02-16	授权	授权
2016-03-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101650711727 IPC(主分类):H01J 37/21 专利申请号:2014100667142 申请日:20140226
2014-08-27	公开	公开

共 50 条

[1]

聚焦离子束设备及聚焦离子束检测方法 [P].

赖李龙 .

中国专利 :CN101246132B ,2008-08-20

[2]

聚焦离子束杂质鉴定 [P].

J.格雷厄姆 ;

L.克拉尔 .

中国专利 :CN111579890B ,2020-08-25

[3]

聚焦离子束系统 [P].

高峰 ;

高强 .

中国专利 :CN119549924A ,2025-03-04

[4]

聚焦离子束分析方法 [P].

段淑卿 ;

曹蓉 ;

齐瑞娟 ;

于会生 .

中国专利 :CN105097580A ,2015-11-25

[5]

用于聚焦离子束设备的散热装置及其聚焦离子束设备 [P].

刘宝露 .

中国专利 :CN223206221U ,2025-08-08

[6]

聚焦离子束探针及装置 [P].

李德元 .

中国专利 :CN218470584U ,2023-02-10

[7]

离子束镀膜聚焦离子源 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN209312712U ,2019-08-27

[8]

用于捕获离子束粒子和聚焦离子束的方法和系统 [P].

彼得·克雷曼 ;

维特·班威尼斯特 ;

亚历山大·普瑞尔 ;

布莱恩·弗瑞尔 ;

麦可·葛瑞夫 .

中国专利 :CN101432841B ,2009-05-13

[9]

借助聚焦离子束的突出标记 [P].

许冠中 ;

程浩 ;

江争 .

中国专利 :CN104210304B ,2014-12-17

[10]

采用聚焦离子束的电路跟踪 [P].

克里斯·帕夫洛维奇 ;

亚历山大·索金 ;

迈克尔·W·法纳夫 ;

亚历山大·克里茨米尔 ;

肯·G·拉加里克 .

中国专利 :CN106842001A ,2017-06-13

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