用于物理气相沉积设备的报警装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201020161728.X

申请日：

2010-04-16

公开(公告)号：

CN201678728U

公开(公告)日：

2010-12-22

发明(设计)人：

李广宁

申请人：

申请人地址：

201203 上海市张江路18号

IPC主分类号：

C23C1454

IPC分类号：

G08B2100

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-03-27	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101543393537 IPC(主分类):C23C 14/54 专利号:ZL201020161728X 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市张江路18号变更后权利人:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道18号登记生效日:20130222
2020-05-12	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):C23C 14/54 申请日:20100416 授权公告日:20101222
2010-12-22	授权	授权

共 50 条

[1]

用于物理气相沉积的沉积环和物理气相沉积设备 [P].

陈杰锋 ;

李理 .

中国专利 :CN208667840U ,2019-03-29

[2]

用于物理气相沉积的沉积环和物理气相沉积设备 [P].

陈杰锋 ;

张辉 .

中国专利 :CN108950510A ,2018-12-07

[3]

用于物理气相沉积的沉积环和物理气相沉积设备 [P].

白志民 ;

李萌 ;

邱国庆 ;

佘清 ;

王厚工 ;

赵梦欣 ;

丁培军 .

中国专利 :CN106637124A ,2017-05-10

[4]

物理气相沉积设备 [P].

何龑 ;

杨小军 .

中国专利 :CN202705452U ,2013-01-30

[5]

物理气相沉积设备 [P].

尹勇 .

中国专利 :CN214458275U ,2021-10-22

[6]

物理气相沉积设备 [P].

李扬德 ;

卢昆 ;

高宽 .

中国专利 :CN207918947U ,2018-09-28

[7]

物理气相沉积设备的靶材单元及物理气相沉积设备 [P].

杨涛 ;

黄云岭 .

中国专利 :CN208594329U ,2019-03-12

[8]

用于物理气相沉积设备的护罩结构及其物理气相沉积设备 [P].

王大为 ;

吴孝哲 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN109837513A ,2019-06-04

[9]

物理气相沉积装置 [P].

胡油东 ;

周伟 .

中国专利 :CN223061058U ,2025-07-04

[10]

物理气相沉积设备及物理气相沉积工艺 [P].

边国栋 .

中国专利 :CN103572211B ,2014-02-12

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