蚀刻装置及蚀刻工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210457789.4

申请日：

2012-11-14

公开(公告)号：

CN102978622A

公开(公告)日：

2013-03-20

发明(设计)人：

冀卫荣林琼辉冉彦祥

申请人：

申请人地址：

523303 广东省东莞市石碣镇刘屋科技中路161号

IPC主分类号：

C23F108

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-02	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23F 1/08 申请日:20121114 授权公告日:20141029 终止日期:20171114
2013-04-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101438518134 IPC(主分类):C23F 1/08 专利申请号:2012104577894 申请日:20121114
2014-10-29	授权	授权
2013-03-20	公开	公开
2015-05-27	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101715647145 IPC(主分类):C23F 1/08 专利号:ZL2012104577894 变更事项:专利权人变更前权利人:东莞市五株电子科技有限公司变更后权利人:东莞市威力固电路板设备有限公司变更事项:地址变更前权利人:523303 广东省东莞市石碣镇刘屋科技中路161号变更后权利人:523000 广东省东莞市石碣镇刘屋科技中路161号登记生效日:20150507

共 50 条

[21]

蚀刻液添加剂、蚀刻液及其应用、蚀刻工艺 [P].

郁操 ;

董刚强 .

中国专利 :CN115161641B ,2024-06-11

[22]

一种金属散热片的双面蚀刻装置及蚀刻工艺 [P].

王文涛 ;

张亮旗 ;

王世权 ;

张帆 .

中国专利 :CN114807938A ,2022-07-29

[23]

热原子层蚀刻工艺 [P].

T·E·布隆贝格 ;

朱驰宇 ;

M·J·图奥米恩 ;

S·P·郝卡 ;

V·莎尔玛 .

中国专利 :CN110050331A ,2019-07-23

[24]

用于控制蚀刻工艺的系统及方法 [P].

F·察赫 .

中国专利 :CN107924855B ,2018-04-17

[25]

改进型蚀刻工艺 [P].

叶明熙 ;

林益安 ;

严必明 ;

陈昭成 ;

章勋明 .

中国专利 :CN106206284B ,2016-12-07

[26]

阶段式全蚀刻工艺 [P].

周雪良 .

中国专利 :CN103966603B ,2014-08-06

[27]

蚀刻工艺装饰品 [P].

陆仁鹤 .

中国专利 :CN3021635D ,1993-10-27

[28]

共沉积和蚀刻工艺 [P].

李英熙 ;

米歇尔·玛格丽塔·弗洛里斯埃斯皮诺萨 ;

杨文兵 ;

萨曼莎·西亚姆华·坦 ;

阿鲁尼玛·德亚·巴兰 ;

范译文 .

美国专利 :CN119137714A ,2024-12-13

[29]

一种蚀刻工艺 [P].

张文平 .

中国专利 :CN107660079A ,2018-02-02

[30]

蚀刻工艺装饰品 [P].

陆仁鹤 .

中国专利 :CN3022492D ,1993-12-15

← 1 2 3 4 5 →