蚀刻装置及蚀刻工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210457789.4

申请日：

2012-11-14

公开(公告)号：

CN102978622A

公开(公告)日：

2013-03-20

发明(设计)人：

冀卫荣林琼辉冉彦祥

申请人：

申请人地址：

523303 广东省东莞市石碣镇刘屋科技中路161号

IPC主分类号：

C23F108

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-02	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23F 1/08 申请日:20121114 授权公告日:20141029 终止日期:20171114
2013-04-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101438518134 IPC(主分类):C23F 1/08 专利申请号:2012104577894 申请日:20121114
2014-10-29	授权	授权
2013-03-20	公开	公开
2015-05-27	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101715647145 IPC(主分类):C23F 1/08 专利号:ZL2012104577894 变更事项:专利权人变更前权利人:东莞市五株电子科技有限公司变更后权利人:东莞市威力固电路板设备有限公司变更事项:地址变更前权利人:523303 广东省东莞市石碣镇刘屋科技中路161号变更后权利人:523000 广东省东莞市石碣镇刘屋科技中路161号登记生效日:20150507

共 50 条

[1]

蚀刻装置及蚀刻工艺 [P].

林琼辉 ;

冀卫荣 ;

罗春泉 .

中国专利 :CN102912348A ,2013-02-06

[2]

蚀刻设备与蚀刻工艺 [P].

戴伟仁 ;

吴泉毅 ;

曾美贵 ;

徐名潭 .

中国专利 :CN1892994A ,2007-01-10

[3]

一种用于SiCoNi蚀刻工艺的蚀刻装置 [P].

雷通 ;

易海兰 ;

钟斌 .

中国专利 :CN104377107A ,2015-02-25

[4]

蚀刻规版直接蚀刻工艺 [P].

唐克强 .

中国专利 :CN1142063A ,1997-02-05

[5]

一种柔性电路板的蚀刻装置及蚀刻工艺 [P].

颜德泉 ;

李志钢 ;

刘思桢 ;

王显彬 .

中国专利 :CN119629872A ,2025-03-14

[6]

一种钟摆式基板蚀刻装置及蚀刻工艺 [P].

严立巍 ;

符德荣 ;

陈政勋 ;

文锺 .

中国专利 :CN113896427A ,2022-01-07

[7]

一种精密蚀刻模组及精密蚀刻装置及其装置的蚀刻工艺 [P].

江德馨 ;

刘鹏 .

中国专利 :CN114150316A ,2022-03-08

[8]

一种精密蚀刻模组及精密蚀刻装置及其装置的蚀刻工艺 [P].

江德馨 ;

刘鹏 .

中国专利 :CN114150316B ,2024-05-07

[9]

PCB板蚀刻液及其蚀刻工艺 [P].

叶钢华 ;

吴永强 .

中国专利 :CN112538630A ,2021-03-23

[10]

高温蚀刻工艺槽 [P].

耿彪 .

中国专利 :CN102842526B ,2012-12-26

← 1 2 3 4 5 →