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具有高击穿电压的AlGaN高电子迁移率晶体管及其制备方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202010489650.2
申请日
:
2020-06-02
公开(公告)号
:
CN111613669B
公开(公告)日
:
2020-09-01
发明(设计)人
:
郭志友
马建铖
夏晓宇
张淼
夏凡
谭秀洋
李渊
申请人
:
申请人地址
:
510000 广东省广州市天河区中山大道西55号
IPC主分类号
:
H01L29778
IPC分类号
:
H01L2906
H01L2915
H01L21335
代理机构
:
佛山粤进知识产权代理事务所(普通合伙) 44463
代理人
:
耿鹏
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-09-01
公开
公开
2022-05-31
授权
授权
2020-09-25
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/778 申请日:20200602
共 50 条
[1]
高击穿电压InAlN/AlGaN高电子迁移率晶体管及其制作方法
[P].
薛军帅
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薛军帅
;
李姚
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李姚
;
郝跃
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郝跃
;
张进成
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张进成
.
中国专利
:CN104393038A
,2015-03-04
[2]
高击穿的AlN AlGaN高电子迁移率晶体管及制备方法
[P].
许晟瑞
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许晟瑞
;
纪凯乔
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纪凯乔
;
张雅超
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张雅超
;
宁静
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宁静
;
陈大正
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陈大正
;
张进成
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张进成
;
郝跃
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郝跃
.
中国专利
:CN112133747A
,2020-12-25
[3]
高击穿电压的高电子迁移率晶体管
[P].
徐晓华
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徐晓华
;
倪海桥
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倪海桥
;
牛智川
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牛智川
;
贺正宏
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贺正宏
;
王建林
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王建林
.
中国专利
:CN100342547C
,2005-12-14
[4]
高电子迁移率晶体管及其制备方法
[P].
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机构:
张韵
;
何佳恒
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机构:
中国科学院半导体研究所
中国科学院半导体研究所
何佳恒
;
谢树杰
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机构:
中国科学院半导体研究所
中国科学院半导体研究所
谢树杰
.
中国专利
:CN120018545A
,2025-05-16
[5]
高击穿电压的氮化镓高电子迁移率晶体管及其形成方法
[P].
李晨
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李晨
;
闫发旺
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闫发旺
;
张峰
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张峰
;
赵倍吉
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赵倍吉
;
刘春雪
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刘春雪
.
中国专利
:CN106876443A
,2017-06-20
[6]
AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管及其制作方法
[P].
马晓华
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马晓华
;
曹艳荣
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曹艳荣
;
郝跃
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郝跃
;
高海霞
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高海霞
;
王冲
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王冲
;
杨凌
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杨凌
.
中国专利
:CN101853880B
,2010-10-06
[7]
高电子迁移率晶体管及其制备方法
[P].
洪威威
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洪威威
;
王倩
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王倩
;
周飚
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周飚
;
胡加辉
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胡加辉
.
中国专利
:CN110444598A
,2019-11-12
[8]
高电子迁移率晶体管及其制备方法
[P].
李翔
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机构:
芯联动力科技(绍兴)有限公司
芯联动力科技(绍兴)有限公司
李翔
.
中国专利
:CN119008689A
,2024-11-22
[9]
高电子迁移率晶体管及其制备方法
[P].
李翔
论文数:
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机构:
芯联动力科技(绍兴)有限公司
芯联动力科技(绍兴)有限公司
李翔
.
中国专利
:CN121038320A
,2025-11-28
[10]
高电子迁移率晶体管及其制备方法
[P].
郭炳磊
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郭炳磊
;
葛永晖
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葛永晖
;
王群
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王群
;
吕蒙普
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吕蒙普
;
胡加辉
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胡加辉
;
李鹏
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李鹏
.
中国专利
:CN110021659A
,2019-07-16
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