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用于纳米压印光刻系统的两平动一转动精密定位工作台
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200910229008.4
申请日：
2009-12-07
公开(公告)号：
CN101710229A
公开(公告)日：
2010-05-19
发明(设计)人：
田延岭
贾晓辉
张大卫
申请人：
申请人地址：
300072 天津市南开区卫津路92号
IPC主分类号：
G03F700
IPC分类号：
代理机构：
天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201
代理人：
王丽英
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-12-28 | 授权 | 授权 |
| 2020-12-04 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/00 登记生效日:20201124 变更事项:专利权人 变更前权利人:天津科润生产力促进有限责任公司 变更后权利人:江苏金邦电气工程有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:300000 天津市红桥区西于庄街道宝能创业中心B座06-01-45 变更后权利人:226000 江苏省南通市世纪大道373号清之华园7楼702室 |
| 2010-05-19 | 公开 | 公开 |
| 2010-07-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101003678969 IPC(主分类):G03F 7/00 专利申请号:2009102290084 申请日:20091207 |
| 2020-12-04 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/00 登记生效日:20201124 变更事项:专利权人 变更前权利人:天津大学 变更后权利人:天津科润生产力促进有限责任公司 变更事项:地址 变更前权利人:300072 天津市南开区卫津路92号 变更后权利人:300000 天津市红桥区西于庄街道宝能创业中心B座06-01-45 |
| 2021-11-16 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/00 申请日:20091207 授权公告日:20111228 终止日期:20201207 |