MEMS传感器微桥桥面的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010743895.3

申请日：

2020-07-29

公开(公告)号：

CN111960377A

公开(公告)日：

2020-11-20

发明(设计)人：

康晓旭钟晓兰沈若曦

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区张江高斯路497号

IPC主分类号：

B81B702

IPC分类号：

B81C100

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

吴世华;陶金龙

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/02 申请日:20200729
2020-11-20	公开	公开

共 50 条

[1]

MEMS传感器微桥桥面的制作方法 [P].

康晓旭 ;

钟晓兰 ;

沈若曦 .

中国专利 :CN111960377B ,2024-03-15

[2]

MEMS传感器的制作方法及MEMS传感器 [P].

庄瑞芬 ;

李刚 .

中国专利 :CN117430080B ,2024-02-20

[3]

MEMS传感器的制作方法及MEMS传感器 [P].

庄瑞芬 ;

李刚 .

中国专利 :CN117430080A ,2024-01-23

[4]

MEMS传感器的制作方法 [P].

柏杨 ;

张睿 .

中国专利 :CN112551480A ,2021-03-26

[5]

MEMS传感器及其制作方法 [P].

黄晟 ;

蔡光艳 ;

魏晓莉 ;

蔡喜元 ;

贾蔓谷 ;

丁铮 .

中国专利 :CN117029908B ,2024-11-26

[6]

MEMS传感器及其制作方法 [P].

宋亚伟 ;

迟海 ;

宋学谦 .

中国专利 :CN112758883B ,2025-02-25

[7]

MEMS传感器及其制作方法 [P].

宋亚伟 ;

迟海 ;

宋学谦 .

中国专利 :CN112758883A ,2021-05-07

[8]

MEMS传感器及其制作方法 [P].

张春伟 ;

曹兴龙 .

中国专利 :CN117699736A ,2024-03-15

[9]

一种MEMS传感器的制作方法及其MEMS传感器 [P].

端木鲁玉 ;

田峻瑜 ;

闫文明 .

中国专利 :CN114132889A ,2022-03-04

[10]

MEMS结构、MEMS结构的制作方法和MEMS传感器 [P].

周志健 ;

高阳 ;

邓仕阳 ;

陈磊 .

中国专利 :CN118598068A ,2024-09-06

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