一种晶圆片打标机的定位机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022655062.X

申请日：

2020-11-17

公开(公告)号：

CN213704939U

公开(公告)日：

2021-07-16

发明(设计)人：

丁波李轶陈瀚赵耀陈登奎杭海燕

申请人：

申请人地址：

201401 上海市奉贤区南桥镇沿江路752号

IPC主分类号：

B41J3407

IPC分类号：

B41J1100

代理机构：

上海远同律师事务所 31307

代理人：

张坚

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-16	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆片自动定位打标装置及方法 [P].

丁波 ;

李轶 ;

陈瀚 ;

赵耀 ;

陈登奎 ;

杭海燕 .

中国专利 :CN112208226B ,2021-01-12

[2]

晶圆打标机构 [P].

邹武兵 ;

张德安 ;

禹刚 .

中国专利 :CN206732367U ,2017-12-12

[3]

晶圆打标机构 [P].

邹武兵 ;

张德安 ;

禹刚 .

中国专利 :CN106583942B ,2017-04-26

[4]

晶圆背面打标机的晶圆方向检测装置 [P].

陈有章 ;

林宜龙 ;

唐召来 ;

张松岭 ;

冀守恒 .

中国专利 :CN201075382Y ,2008-06-18

[5]

晶圆背面打标机的晶圆进出闸门装置 [P].

陈有章 ;

林宜龙 ;

唐召来 ;

张松岭 ;

冀守恒 .

中国专利 :CN201060857Y ,2008-05-14

[6]

可光学对准的晶圆定位手臂及晶圆打标机 [P].

游盛天 .

中国专利 :CN218215253U ,2023-01-03

[7]

一种晶圆片显影机的定位机构 [P].

秦有贵 ;

辛奇 ;

胡凯 ;

徐峰 ;

杨军 ;

闫乐成 ;

秦宝宏 .

中国专利 :CN217425927U ,2022-09-13

[8]

一种晶圆片显影机的定位机构 [P].

丁波 ;

李轶 ;

陈瀚 ;

赵耀 ;

陈登奎 ;

杭海燕 .

中国专利 :CN213622224U ,2021-07-06

[9]

一种晶圆激光打标机的自动送料机构 [P].

闵大勇 ;

卢飞星 ;

孙绍文 ;

王伟 .

中国专利 :CN202278843U ,2012-06-20

[10]

一种晶圆片铲片机构 [P].

姬煜 ;

赵通 .

中国专利 :CN212967661U ,2021-04-13

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