高纯度钛锭、其制造方法及钛溅射靶

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201380009260.9
申请日
2013-02-13
公开(公告)号
CN104114303A
公开(公告)日
2014-10-22
发明(设计)人
八木和人 日野英治 新藤裕一朗
申请人
申请人地址
日本东京
IPC主分类号
B22D2106
IPC分类号
C22B922 C22B3412 C22C102 C22C1400 C23C1434
代理机构
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219
代理人
王海川;穆德骏
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
高纯度钛粉、钨钛合金溅射靶材的制备方法及系统 [P]. 
陈箫箫 ;
林胜乐 ;
高利 .
中国专利 :CN113275589B ,2024-01-23
[2]
高纯度钛粉、钨钛合金溅射靶材的制备方法及系统 [P]. 
陈箫箫 ;
林胜乐 ;
高利 .
中国专利 :CN113275589A ,2021-08-20
[3]
高纯度Ni溅射靶及其制造方法 [P]. 
中岛信昭 ;
小松透 ;
佐野孝 .
中国专利 :CN103459657A ,2013-12-18
[4]
高纯度铜或高纯度铜合金溅射靶、该溅射靶的制造方法及高纯度铜或高纯度铜合金溅射膜 [P]. 
福岛笃志 ;
新藤裕一朗 ;
岛本晋 .
中国专利 :CN102165093A ,2011-08-24
[5]
一种应用溅射法制备高纯度钛溅射靶材的方法 [P]. 
雷雨婷 .
中国专利 :CN109778123A ,2019-05-21
[6]
含钛溅射靶的制造方法 [P]. 
高桥一寿 ;
新田纯一 .
中国专利 :CN102597301A ,2012-07-18
[7]
高纯度铜溅射靶 [P]. 
冈部岳夫 ;
大月富男 ;
渡边茂 .
中国专利 :CN104053814A ,2014-09-17
[8]
高纯度铜锰合金溅射靶 [P]. 
长田健一 ;
大月富男 ;
冈部岳夫 ;
牧野修仁 ;
福岛笃志 .
中国专利 :CN103797152A ,2014-05-14
[9]
高纯度铜溅射靶材 [P]. 
森晓 ;
谷雨 ;
佐藤雄次 ;
菊池文武 ;
荒井公 .
中国专利 :CN107923034A ,2018-04-17
[10]
高纯度铜溅射靶用铜原材料及高纯度铜溅射靶 [P]. 
樱井晶 ;
谷雨 ;
佐藤雄次 ;
熊谷训 .
中国专利 :CN105339527A ,2016-02-17