一种检测集成电路制造工艺中工艺波动的检测电路

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410165827.8

申请日：

2014-04-23

公开(公告)号：

CN103941178B

公开(公告)日：

2014-07-23

发明(设计)人：

何燕冬艾雷张钢刚张兴

申请人：

申请人地址：

100871 北京市海淀区颐和园路5号

IPC主分类号：

G01R31317

IPC分类号：

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

李迪

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-07-23	公开	公开
2017-07-18	授权	授权
2014-08-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101584556374 IPC(主分类):G01R 31/317 专利申请号:2014101658278 申请日:20140423

共 50 条

[1]

集成电路后端工艺波动检测电路以及检测方法 [P].

林殷茵 ;

李慧 .

中国专利 :CN105842604A ,2016-08-10

[2]

一种集成电路制造工艺 [P].

阮少烽 ;

冯如杰 ;

王炜 ;

朱淼 ;

钱清清 .

中国专利 :CN112992690A ,2021-06-18

[3]

一种集成电路制造工艺 [P].

阮少烽 ;

冯如杰 ;

王炜 ;

朱淼 ;

钱清清 .

中国专利 :CN112992690B ,2024-03-19

[4]

一种集成电路制造用加工设备及集成电路制造工艺 [P].

李雪梅 ;

刘姣 ;

刘松涛 .

中国专利 :CN114885513A ,2022-08-09

[5]

一种集成电路制造用加工设备及集成电路制造工艺 [P].

王青兰 ;

王庆平 .

中国专利 :CN112822843A ,2021-05-18

[6]

一种集成电路制造用钻孔设备及集成电路制造工艺 [P].

谷原 .

中国专利 :CN113001666A ,2021-06-22

[7]

集成电路制造工艺的返工方法 [P].

余寅生 ;

王志宏 ;

赵弘文 .

中国专利 :CN109308993B ,2019-02-05

[8]

具有埋置接点的集成电路制造工艺 [P].

普拉迪普·夏赫 .

中国专利 :CN85107802A ,1986-07-23

[9]

一种利用FPGA芯片进行集成电路制造工艺缺陷检测的方法 [P].

周涛 ;

张帆 ;

王岚施 ;

陈雷 ;

李学武 ;

张彦龙 ;

刘增荣 ;

王思聪 .

中国专利 :CN103000548B ,2013-03-27

[10]

高压集成电路制造工艺 [P].

王伟国 ;

黄海涛 ;

王燕 ;

陆晓敏 ;

陈康民 ;

王浩 ;

吕浩 ;

冯慧钦 ;

杨炬 ;

樊芸 ;

樊荣海 ;

肖世红 ;

杨晶琦 .

中国专利 :CN100337323C ,2004-07-21

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