一种集成电路制造工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110172366.7

申请日：

2021-02-08

公开(公告)号：

CN112992690A

公开(公告)日：

2021-06-18

发明(设计)人：

阮少烽冯如杰王炜朱淼钱清清

申请人：

申请人地址：

311100 浙江省杭州市余杭区杭州余杭经济技术开发区旺盛路8号3幢

IPC主分类号：

H01L2148

IPC分类号：

代理机构：

绍兴上虞诚知创专利代理事务所(普通合伙) 33354

代理人：

孙李林

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-18	公开	公开
2021-07-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/48 申请日:20210208

共 50 条

[1]

一种集成电路制造工艺 [P].

阮少烽 ;

冯如杰 ;

王炜 ;

朱淼 ;

钱清清 .

中国专利 :CN112992690B ,2024-03-19

[2]

一种集成电路制造用加工设备及集成电路制造工艺 [P].

李雪梅 ;

刘姣 ;

刘松涛 .

中国专利 :CN114885513A ,2022-08-09

[3]

一种集成电路制造用加工设备及集成电路制造工艺 [P].

王青兰 ;

王庆平 .

中国专利 :CN112822843A ,2021-05-18

[4]

一种集成电路制造用钻孔设备及集成电路制造工艺 [P].

谷原 .

中国专利 :CN113001666A ,2021-06-22

[5]

集成电路制造工艺的返工方法 [P].

余寅生 ;

王志宏 ;

赵弘文 .

中国专利 :CN109308993B ,2019-02-05

[6]

一种检测集成电路制造工艺中工艺波动的检测电路 [P].

何燕冬 ;

艾雷 ;

张钢刚 ;

张兴 .

中国专利 :CN103941178B ,2014-07-23

[7]

集成电路制造工艺虚拟仿真训练平台 [P].

徐振 ;

周文清 .

中国专利 :CN111833684A ,2020-10-27

[8]

具有埋置接点的集成电路制造工艺 [P].

普拉迪普·夏赫 .

中国专利 :CN85107802A ,1986-07-23

[9]

高压集成电路制造工艺 [P].

王伟国 ;

黄海涛 ;

王燕 ;

陆晓敏 ;

陈康民 ;

王浩 ;

吕浩 ;

冯慧钦 ;

杨炬 ;

樊芸 ;

樊荣海 ;

肖世红 ;

杨晶琦 .

中国专利 :CN100337323C ,2004-07-21

[10]

双极型集成电路制造工艺 [P].

陈康民 ;

陆晓敏 ;

王炜 ;

吕浩 ;

王浩 ;

张征 ;

翁丽敏 ;

樊芸 ;

张一峰 ;

张学文 ;

李铭 ;

张昱 ;

朗宁 ;

屠文莉 .

中国专利 :CN1149658C ,2002-11-27

← 1 2 3 4 5 →