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快速一般化的多波长椭圆偏振仪
被引:0
申请号
:
CN202180027218.4
申请日
:
2021-01-21
公开(公告)号
:
CN115380200A
公开(公告)日
:
2022-11-22
发明(设计)人
:
A·G·博萨利斯
申请人
:
申请人地址
:
美国马萨诸塞州
IPC主分类号
:
G01N2121
IPC分类号
:
G01N2164
代理机构
:
北京市汉坤律师事务所 11602
代理人
:
王其文;张涛
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2022-12-09
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/21 申请日:20210121
2022-11-22
公开
公开
共 36 条
[1]
椭圆偏振仪及估计膜厚度的方法
[P].
徐丰源
论文数:
0
引用数:
0
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0
徐丰源
;
杨棋铭
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杨棋铭
;
许青翔
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许青翔
;
陈其贤
论文数:
0
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陈其贤
.
中国专利
:CN110873553A
,2020-03-10
[2]
消光-光度兼容的椭圆偏振仪
[P].
吴启宏
论文数:
0
引用数:
0
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0
吴启宏
.
中国专利
:CN1005928B
,1988-01-06
[3]
一种椭圆偏振仪的校准方法
[P].
徐鹏
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0
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0
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徐鹏
;
刘涛
论文数:
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0
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刘涛
;
王林梓
论文数:
0
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0
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王林梓
;
刘健鹏
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0
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0
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0
刘健鹏
;
李国光
论文数:
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0
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李国光
.
中国专利
:CN102879337B
,2013-01-16
[4]
基于分束器的椭圆偏振仪聚焦系统
[P].
J·F·莱索因
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
昂图创新有限公司
昂图创新有限公司
J·F·莱索因
.
美国专利
:CN114467017B
,2025-09-02
[5]
消光—光度兼容的椭圆偏振仪
[P].
吴启宏
论文数:
0
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吴启宏
.
中国专利
:CN87207289U
,1988-04-20
[6]
基于分束器的椭圆偏振仪聚焦系统
[P].
J·F·莱索因
论文数:
0
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0
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0
机构:
昂图创新有限公司
昂图创新有限公司
J·F·莱索因
.
美国专利
:CN120890916A
,2025-11-04
[7]
基于分束器的椭圆偏振仪聚焦系统
[P].
J·F·莱索因
论文数:
0
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J·F·莱索因
.
中国专利
:CN114467017A
,2022-05-10
[8]
一种全穆勒矩阵椭圆偏振仪的校准方法
[P].
崔高增
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0
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崔高增
;
刘涛
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刘涛
;
李国光
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0
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0
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李国光
;
温朗枫
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0
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0
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温朗枫
;
熊伟
论文数:
0
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熊伟
.
中国专利
:CN104677837A
,2015-06-03
[9]
一种用于椭圆偏振仪的样品台
[P].
高文丽
论文数:
0
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0
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高文丽
;
段会强
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0
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0
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段会强
;
王虎
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0
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王虎
;
张坤
论文数:
0
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0
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张坤
.
中国专利
:CN218329793U
,2023-01-17
[10]
一种全穆勒矩阵椭圆偏振仪的校准方法
[P].
刘涛
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刘涛
;
崔高增
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崔高增
;
李国光
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李国光
;
熊伟
论文数:
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0
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熊伟
;
温朗枫
论文数:
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0
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温朗枫
.
中国专利
:CN104677835A
,2015-06-03
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