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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2008-12-24 | 专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移) | 专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移) 变更事项:申请人 变更前权利人:富士通株式会社 变更后权利人:富士通微电子株式会社 变更前:日本神奈川县 变更后:日本东京都 登记生效日:20081107 变更事项:地址 |
| 2021-11-05 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/8246 申请日:20051125 授权公告日:20120509 终止日期:20201125 |
| 2012-05-09 | 授权 | 授权 |
| 2008-11-26 | 公开 | 公开 |
| 2009-01-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |