用于监测在等离子体工序中产生的电弧现象的RF信号监测装置及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110739441.3

申请日：

2021-06-30

公开(公告)号：

CN113471050A

公开(公告)日：

2021-10-01

发明(设计)人：

柳林水

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

金鲜英;张敬强

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-01	公开	公开
2021-10-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20210630

共 50 条

[1]

监测等离子体工艺制程的等离子体处理装置和方法 [P].

张洁 ;

刘身健 .

中国专利 :CN107546094B ,2018-01-05

[2]

等离子体处理装置及等离子体处理工艺的监测方法 [P].

李俊良 .

中国专利 :CN105405735A ,2016-03-16

[3]

等离子体工序监控装置及包括其的等离子体处理装置 [P].

尹日求 .

中国专利 :CN110504150A ,2019-11-26

[4]

监测等离子体工艺制程的装置和方法 [P].

黄智林 ;

杨平 .

中国专利 :CN106876238B ,2017-06-20

[5]

监测等离子体工艺制程的装置和方法 [P].

张洁 ;

黄智林 .

中国专利 :CN107546141B ,2018-01-05

[6]

天线、用于产生等离子体的电路，以及等离子体处理装置 [P].

李东协 ;

成德镛 ;

禹济宪 ;

金俸奭 ;

李柱昊 ;

全允珖 ;

赵贞贤 .

中国专利 :CN107979909A ,2018-05-01

[7]

用于监测等离子体的系统 [P].

M·A·普维斯 ;

K·M·休姆勒 ;

丁程远 ;

R·J·拉法克 ;

I·V·福门科夫 .

中国专利 :CN111566563A ,2020-08-21

[8]

用于产生等离子体的天线和包括其的等离子体处理装置 [P].

金佑奭 ;

蔡胜基 ;

甘度英 ;

李光铭 ;

元济亨 ;

申在光 ;

吴在俊 ;

全尚珍 .

中国专利 :CN1638599A ,2005-07-13

[9]

等离子体处理装置及等离子体的监视方法 [P].

藤野丰 ;

福田良则 ;

北川淳一 ;

山本伸彦 .

中国专利 :CN103258706B ,2013-08-21

[10]

多处理区域等离子体处理装置及等离子体工艺监测方法 [P].

黄智林 ;

杨平 ;

周旭升 .

中国专利 :CN105261545B ,2016-01-20

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