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一种晶圆测量分选装置
被引：0
申请号：
CN202221988178.8
申请日：
2022-07-29
公开(公告)号：
CN218424254U
公开(公告)日：
2023-02-03
发明(设计)人：
曹晓光
李峰
张同雷
申请人：
申请人地址：
214122 江苏省无锡市滨湖区嘉业路5号G幢1楼
IPC主分类号：
B07C536
IPC分类号：
B07C538
B07C512
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-02-03 | 授权 | 授权 |